[實用新型]保溫基座及LPCVD爐管

有效

• 申請號: 201320145744.3
• 申請日: 2013-03-27
• 公開（公告）號: CN203179862U
• 公開（公告）日: 2013-09-04
• 發明（設計）人: 沈建飛
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;H01L21/205
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種保溫基座，其特征在于，包括：

兩個支撐板；

至少兩個支撐柱，每個支撐柱均與所述兩個支撐板連接，每個支撐柱上固定有支撐塊；及

設置于所述支撐塊上的保溫片。

2.如權利要求1所述的保溫基座，其特征在于，支撐柱的數量為三個。

3.如權利要求2所述的保溫基座，其特征在于，兩個支撐板的形狀均為圓形。

4.如權利要求3所述的保溫基座，其特征在于，三個支撐柱分別位于兩個支撐板的三等分位置上。

5.如權利要求2所述的保溫基座，其特征在于，每個支撐柱上固定有多個支撐塊，且每個支撐柱上固定的支撐塊數量相同。

6.如權利要求5所述的保溫基座，其特征在于，每個支撐柱上相鄰兩個支撐塊的距離為1毫米～5毫米。

7.如權利要求5所述的保溫基座，其特征在于，各支撐柱上相對位置相同的支撐塊位于同一水平面上。

8.如權利要求1至7中的任一項所述的保溫基座，其特征在于，每個支撐塊上設置有多個刻度格。

9.如權利要求8所述的保溫基座，其特征在于，每個支撐塊上相鄰兩個刻度格之間的距離為0.5毫米～2毫米。

10.一種LPCVD爐管，其特征在于，包括：固定基座、內管、外管、晶舟、及如權利要求1至9中任一項所述的保溫基座，其中，所述外管置于所述內管外側，所述內管與所述固定基座構成容置空間，所述保溫基座及晶舟置于所述容置空間內，且所述晶舟置于所述保溫基座上。