[實用新型]排液槽裝置

有效

• 申請號: 201320145742.4
• 申請日: 2013-03-27
• 公開（公告）號: CN203173802U
• 公開（公告）日: 2013-09-04
• 發明（設計）人: 張文武;楊群;太雙;刁春華;周鵬
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: B67D7/02
• 分類號: B67D7/02;B67D7/78
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種排液槽裝置，其特征在于，包括：

排液槽；

進液管，與所述排液槽連接；

排液泵；

第一排液管，一端與所述排液泵連接，另一端伸入所述排液槽中；

第二排液管，與所述排液泵連接；

處理器，與所述排液泵連接；

排氣管，一端與所述排液槽連接，另一端與所述第二排液管連接；以及

排氣閥，設置在所述排氣管上。

2.如權利要求1所述的排液槽裝置，其特征在于，所述排液槽裝置還包括設置在所述第一排液管上的第一手動閥。

3.如權利要求1所述的排液槽裝置，其特征在于，所述排液槽裝置還包括設置在所述第二排液管上的第二手動閥。

4.如權利要求1所述的排液槽裝置，其特征在于，所述排液槽裝置還包括與所述排液槽連接的通氣管。

5.如權利要求1所述的排液槽裝置，其特征在于，所述排液槽裝置還包括至少一個傳感器，所述傳感器設置在所述排液槽內并與所述處理器連接。

6.如權利要求5所述的排液槽裝置，其特征在于，所述傳感器為兩個。

7.如權利要求6所述的排液槽裝置，其特征在于，其中一個傳感器為高位傳感器，設置在所述排液槽側壁高度的中點處；另外一個傳感器為低位傳感器，設置在低于所述高位傳感器水平位置的所述排液槽內。

8.如權利要求7所述的排液槽裝置，其特征在于，所述第一排液管伸入所述排液槽內的位置低于所述低位傳感器的水平高度。

9.如權利要求1所述的排液槽裝置，其特征在于，所述排氣閥為氣動閥，并與所述處理器連接。

10.如權利要求1所述的排液槽裝置，其特征在于，所述排氣閥為電磁閥，并與所述處理器連接。

11.如權利要求1所述的排液槽裝置，其特征在于，所述排氣閥為手動閥。

12.如權利要求1所述的排液槽裝置，其特征在于，所述排氣管的長度小于10米。