[實用新型]排液槽裝置

有效

• 申請號: 201320145742.4
• 申請日: 2013-03-27
• 公開（公告）號: CN203173802U
• 公開（公告）日: 2013-09-04
• 發明（設計）人: 張文武;楊群;太雙;刁春華;周鵬
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: B67D7/02
• 分類號: B67D7/02;B67D7/78
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

技術領域

本實用新型涉及集成電路制造領域，尤其涉及一種排液槽裝置。

背景技術

在半導體集成電路制造工藝中，通常需要用到大量的化學物品來滿足生產需要。對于使用過的化學物品的安全排放，在各個場區都會設計地溝和廢液排放系統。在化學物品被使用過后產生的廢液將通過若干管道排放至排液槽中，接著由與排液槽連接的排液泵將廢液泵至廢液處理系統中，進而完成廢液的處理。

請參考圖1，現有技術中的排液槽裝置包括：排液槽10、進液管20、低位傳感器32、高位傳感器31、排液泵60以及處理器40；進液管20與所述排液槽10連接；所述低位傳感器32安裝靠近所述排液槽10的底部，所述高位傳感器31安裝在所述排液槽10高度的中點處；所述排液泵60通過第一排液管51與所述排液槽10連接，所述排液泵60通過第二排液管52與廢液處理系統（圖未示）連接；所述處理器40與所述低位傳感器32以及高位傳感器31通過信號線33連接，所述處理器40與所述排液泵60通過指令信號線61連接。

在使用的過程中，化學物品被使用過后產生的廢液將通過進液管20排放至排液槽10中，當排液槽10中的廢液在液位高于或等于所述高位傳感器31時，所述處理器40將得到來自所述高位傳感器31的信號，所述處理器40將通過所述指令信號線61啟動所述排液泵60，從而對所述排液槽10進行抽液，并將排液槽10中的廢液通過第一排液管51與第二排液管52排送至所述廢液處理系統中進行處理。

然而，在實際使用過程中，由于所述進液管20往所述排液槽10中排放廢液多數為酸性液體并且易揮發，在所述排液泵60停止排廢液時，廢液揮發出的氣體進入所述第一排液管51，并通過所述第一排液管51進入所述排液泵60中，從而在所述排液泵60進行重新啟動時會出現空打現象，容易造成所述排液泵60發生故障，減少所述排液泵60的使用壽命。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種排液槽裝置，用于排出排液泵中過量的氣體，增加排液泵的使用壽命。

為了實現上述目的，本實用新型提出一種排液槽裝置，包括：

排液槽；

進液管，與所述排液槽連接；

排液泵；

第一排液管，一端與所述排液泵連接，另一端伸入所述排液槽中；

第二排液管，與所述排液泵連接；

處理器，與所述排液泵連接；

排氣管，一端與所述排液槽連接，另一端與所述第二排液管連接；以及

排氣閥，設置在所述排氣管上。

進一步的，所述排液槽裝置還包括設置在所述第一排液管上的第一手動閥。

進一步的，所述排液槽裝置還包括設置在所述第二排液管上的第二手動閥。

進一步的，所述排液槽裝置還包括與所述排液槽連接的通氣管。

進一步的，所述排液槽裝置還包括至少一個傳感器，所述傳感器設置在所述排液槽內并與所述處理器連接。

進一步的，所述傳感器為兩個。

進一步的，其中一個傳感器為高位傳感器，設置在所述排液槽側壁高度的中點處；另外一個傳感器為低位傳感器，設置在低于所述高位傳感器水平位置的所述排液槽內。

進一步的，所述第一排液管伸入所述排液槽內的位置低于所述低位傳感器的水平高度。

進一步的，所述排氣閥為氣動閥，并與所述處理器連接。

進一步的，所述排氣閥為電磁閥，并與所述處理器連接。

進一步的，所述排氣閥為手動閥。

進一步的，所述排氣管的長度小于10米。

與現有技術相比，本實用新型添加了排氣管，所述排氣管一端與排液槽連接，另一端與第二排液管連接，通過所述排氣管將殘留在所述第一排液管與排液泵中過量的氣體排入至所述排液槽中，從而可以避免過量的氣體進入所述排液泵中造成所述排液泵長時間的空打，降低所述排液泵由空打產生故障的幾率，增加所述排液泵的使用壽命，進而節約生產成本。

附圖說明

圖1為現有技術中排液槽裝置的結構示意圖；

圖2為本實用新型一實施例中排液槽裝置的結構示意圖。

具體實施方式

以下結合附圖和具體實施例對本實用新型提出的排液槽裝置作進一步詳細說明。根據下面說明和權利要求書，本實用新型的優點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。