[實用新型]線形布?xì)鈾C(jī)構(gòu)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201320139229.4 | 申請日: | 2013-03-25 |
| 公開(公告)號: | CN203212644U | 公開(公告)日: | 2013-09-25 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 朱剛勁;朱剛毅;朱文廓 | 申請(專利權(quán))人: | 肇慶市騰勝真空技術(shù)工程有限公司 |
| 主分類號: | C23C16/455 | 分類號: | C23C16/455;C23C14/54 |
| 代理公司: | 廣州市華學(xué)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44245 | 代理人: | 裘暉 |
| 地址: | 526060 廣*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 線形 機(jī)構(gòu) | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本實用新型涉及TCO透明導(dǎo)電膜的鍍膜設(shè)備領(lǐng)域,特別涉及一種線形布?xì)鈾C(jī)構(gòu)。
背景技術(shù)
目前的鍍膜設(shè)備中,真空室的布?xì)庋b置結(jié)構(gòu)是:一端引入內(nèi)層小管,外層再套入大管,小管上均勻設(shè)置小透氣孔,氣源從小管一端引入,通過小透氣孔在大管上從疏到密進(jìn)行布?xì)狻T摻Y(jié)構(gòu)的布?xì)庋b置存在以下缺陷:
(1)布?xì)夤苤幸欢艘耄ㄟ^大管上的疏密孔來使氣體均勻,效果難以達(dá)到,在實際應(yīng)用中,充氣不均勻,容易引起鍍膜不均勻;
(2)該裝置制造時,小管上小孔無法采用鉆床加工,需用電火花加工,加工時間長且費(fèi)用高;
(3)該裝置在使用過程中,膜層進(jìn)入管內(nèi)后難以清洗干凈,影響設(shè)備抽氣速率。
實用新型內(nèi)容
本實用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足,提供一種結(jié)構(gòu)簡單,布?xì)饩鶆虻木€形布?xì)鈾C(jī)構(gòu)。
本實用新型的技術(shù)方案為:一種線形布?xì)鈾C(jī)構(gòu),包括由上至下依次連接的上壓板、充氣板和下壓板,充氣板上分布有多級充氣槽,相鄰兩級充氣槽之間通過氣孔連通,第一級充氣槽外接氣源。
所述多級充氣槽有2組,對稱設(shè)于充氣板的上下兩面,各充氣槽的開口面位于充氣板的上表面或下表面。
作為一種優(yōu)選方案,所述充氣槽有四級,氣孔也相應(yīng)有四級;
第一級充氣槽有1個,第一級充氣槽的中心位于充氣板的中線上,第一級充氣槽的兩端分別設(shè)置第一級氣孔,第一級氣孔到充氣板相應(yīng)端部的距離為充氣板總長度的1/4;
第二級充氣槽有2個,各第二級充氣槽與相應(yīng)第一級氣孔的連接處為第二級充氣槽的中心,各第二級充氣槽的兩端分別設(shè)置第二級氣孔,位于外側(cè)的第二級氣孔到充氣板相應(yīng)端部的距離為充氣板總長度的1/8;
第三級充氣槽有4個,各第三級充氣槽與相應(yīng)第二級氣孔的連接處為第三級充氣槽的中心,各第三級充氣槽的兩端分別設(shè)置第三級氣孔,位于外側(cè)的第三級氣孔到充氣板相應(yīng)端部的距離為充氣板總長度的1/16;
第四級充氣槽有8個,各第四級充氣槽與相應(yīng)第三級氣孔的連接處為第四級充氣槽的中心,各第四級充氣槽的兩端分別設(shè)置第四級氣孔,各第四級氣孔為充氣板的布?xì)饪住?/p>
所述第一級充氣槽的寬度為3mm,第二級充氣槽的寬度為2mm,第三級充氣槽的寬度為1mm,第四級充氣槽的寬度為1mm。
所述上壓板和下壓板上分別設(shè)有氣體引入座,氣體引入座的出氣口與充氣板的第一級充氣槽連接,氣體引入座外接氣源。
本線形布?xì)鈾C(jī)構(gòu)使用時,其布?xì)庠硎牵和ㄟ^氣體引入座從氣源引入氣體后,氣體進(jìn)入第一級充氣槽,然后通過第一級氣孔分布至第二級充氣槽,再依次通過第二級氣孔分布至第三級充氣槽,通過第三級氣孔分布至第四級充氣槽,最后從第四級氣孔均勻分布,通過各級充氣槽逐層分布,使氣體分布更均勻。
本線形布?xì)鈾C(jī)構(gòu)制造時,其中充氣板的加工如下:對充氣板上下兩面分別銑槽;由充氣板中心開始往兩邊銑寬度為3mm的通槽到距離充氣板端部四分之一處,形成第一級充氣槽;再由四分之一處開始往兩邊銑寬度為2mm的通槽到距離充氣板端部八分之一處,形成第二級充氣槽;再由八分之一處開始往兩邊銑寬度為1mm的通槽到距離充氣板端部十六分之一處,形成第三級充氣槽;最后在十六分之一處開始往兩邊分銑寬度為1mm的通槽到充氣板外,形成第四級充氣槽。根據(jù)充氣板的實際情況,充氣槽的級數(shù)可調(diào)整。
本實用新型相對于現(xiàn)有技術(shù),具有以下有益效果:
本線形布?xì)鈾C(jī)構(gòu)采用中心入氣,再通過多層充氣槽逐層向充氣板兩端布?xì)猓細(xì)饩鶆颍奢^好地保障產(chǎn)品質(zhì)量。
本線形布?xì)鈾C(jī)構(gòu)采用板狀結(jié)構(gòu),通過上壓板、充氣板和下壓板的配合實現(xiàn)密封并且均勻布?xì)猓浣Y(jié)構(gòu)簡單,裝卸、清潔和維護(hù)更方便快捷,可有效避免傳統(tǒng)布?xì)鈾C(jī)構(gòu)“膜層進(jìn)入管內(nèi)后難以清洗干凈,影響設(shè)備抽氣速率”的現(xiàn)象。
本線形布?xì)鈾C(jī)構(gòu)可通過機(jī)加工成型,質(zhì)量保證,可確保充氣穩(wěn)定一致。
附圖說明
圖1為本線形布?xì)鈾C(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2為本線形布?xì)鈾C(jī)構(gòu)中充氣板的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
下面結(jié)合實施例及附圖,對本實用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)說明,但本實用新型的實施方式不限于此。
實施例
本實施例一種線形布?xì)鈾C(jī)構(gòu),如圖1所示,包括由上至下依次連接的上壓板2、充氣板1和下壓板3,如圖2所示,充氣板1上分布有多級充氣槽,相鄰兩級充氣槽之間通過氣孔連通,第一級充氣槽外接氣源。
多級充氣槽有2組,對稱設(shè)于充氣板的上下兩面,各充氣槽的開口面位于充氣板的上表面或下表面。
本實施例作為一種優(yōu)選方案,充氣槽有四級,氣孔也相應(yīng)有四級,如圖2所示,
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C23C 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面擴(kuò)散法,化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態(tài)化合物分解且表面材料的反應(yīng)產(chǎn)物不留存于鍍層中的化學(xué)鍍覆,例如化學(xué)氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上,例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機(jī)材料為特征的
- 貼標(biāo)機(jī)構(gòu)位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)
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- 用于操作機(jī)構(gòu)的輔助機(jī)構(gòu)
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