[實用新型]線形布氣機構

有效

• 申請號: 201320139229.4
• 申請日: 2013-03-25
• 公開（公告）號: CN203212644U
• 公開（公告）日: 2013-09-25
• 發明（設計）人: 朱剛勁;朱剛毅;朱文廓
• 申請（專利權）人: 肇慶市騰勝真空技術工程有限公司
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455;C23C14/54
• 代理公司: 廣州市華學知識產權代理有限公司 44245
• 代理人: 裘暉

1.線形布氣機構，其特征在于，包括由上至下依次連接的上壓板、充氣板和下壓板，充氣板上分布有多級充氣槽，相鄰兩級充氣槽之間通過氣孔連通，第一級充氣槽外接氣源。

2.根據權利要求1所述的線形布氣機構，其特征在于，所述多級充氣槽有2組，對稱設于充氣板的上下兩面，各充氣槽的開口面位于充氣板的上表面或下表面。

3.根據權利要求1所述的線形布氣機構，其特征在于，所述充氣槽有四級，氣孔也相應有四級；

第一級充氣槽有1個，第一級充氣槽的中心位于充氣板的中線上，第一級充氣槽的兩端分別設置第一級氣孔，第一級氣孔到充氣板相應端部的距離為充氣板總長度的1/4；

第二級充氣槽有2個，各第二級充氣槽與相應第一級氣孔的連接處為第二級充氣槽的中心，各第二級充氣槽的兩端分別設置第二級氣孔，位于外側的第二級氣孔到充氣板相應端部的距離為充氣板總長度的1/8；

第三級充氣槽有4個，各第三級充氣槽與相應第二級氣孔的連接處為第三級充氣槽的中心，各第三級充氣槽的兩端分別設置第三級氣孔，位于外側的第三級氣孔到充氣板相應端部的距離為充氣板總長度的1/16；

第四級充氣槽有8個，各第四級充氣槽與相應第三級氣孔的連接處為第四級充氣槽的中心，各第四級充氣槽的兩端分別設置第四級氣孔，各第四級氣孔為充氣板的布氣孔。

4.根據權利要求3所述的線形布氣機構，其特征在于，所述第一級充氣槽的寬度為3mm，第二級充氣槽的寬度為2mm，第三級充氣槽的寬度為1mm，第四級充氣槽的寬度為1mm。

5.根據權利要求1所述的線形布氣機構，其特征在于，所述上壓板和下壓板上分別設有氣體引入座，氣體引入座的出氣口與充氣板的第一級充氣槽連接，氣體引入座外接氣源。