[實用新型]采用場發射陣列激發的平板紫外輻射光源的清洗箱

有效

• 申請號: 201320139128.7
• 申請日: 2013-03-25
• 公開（公告）號: CN203281553U
• 公開（公告）日: 2013-11-13
• 發明（設計）人: 鐘偉杰;趙健;夏忠平
• 申請（專利權）人: 上海顯恒光電科技股份有限公司
• 主分類號: B08B7/00
• 分類號: B08B7/00;H01K7/00
• 代理公司: 上海精晟知識產權代理有限公司 31253
• 代理人: 何新平

1.采用場發射陣列激發的平板紫外輻射光源的清洗箱，包括紫外清洗箱主體，所述紫外清洗箱主體包括箱壁，所述箱壁圍成一清洗腔，所述清洗腔內設有清洗執行系統，所述清洗執行系統連接一紫外光源，以及一控制系統，其特征在于：?

所述紫外光源采用一場發射陣列激發的平板紫外輻射光源，所述場發射陣列激發的平板紫外輻射光源位于所述清洗腔內；?

所述光源包括一陽極板，所述陽極板上設有一紫外熒光粉層；?

所述光源還包括一場發射陰極陣列，所述場發射陰極陣列朝向所述陽極板。?

2.根據權利要求1所述的采用場發射陣列激發的平板紫外輻射光源的清洗箱，其特征在于：所述紫外熒光粉層的出光面朝向所述清洗腔。?

3.根據權利要求2所述的采用場發射陣列激發的平板紫外輻射光源的清洗箱，其特征在于：所述出光面處設有一電動調光機構，所述電動調光機構連接所述控制系統。?

4.根據權利要求1所述的采用場發射陣列激發的平板紫外輻射光源的清洗箱，其特征在于：所述紫外清洗箱主體還包括箱蓋，所述箱蓋通過一轉軸連接所述箱壁，所述場發射陣列激發的平板紫外輻射光源位于所述箱蓋下方，所述場發射陣列激發的平板紫外輻射光源連接所述控制系統，所述控制系統設有一電源開關控制機構，所述電源開關控制機構與所述轉軸聯動。?

5.根據權利要求1所述的采用場發射陣列激發的平板紫外輻射光源的清洗箱，其特征在于：所述紫外熒光粉層的下方固定有一陽極用石英玻璃層；?

所述場發射陰極陣列的上方還設有一陰極用石英玻璃層，所述場發射陰極陣列固定在所述陰極用石英玻璃層的下表面上。?

6.根據權利要求1所述的采用場發射陣列激發的平板紫外輻射光源的清洗箱，其特征在于：所述紫外熒光粉層的上方固定有一導電層，所述紫外熒光粉層的下方固定有一陽極用石英玻璃層；?

所述場發射陰極陣列的上方還設有一陰極用石英玻璃層，所述場發射陰?極陣列固定在所述陰極用石英玻璃層的下表面上。?

7.根據權利要求6所述的采用場發射陣列激發的平板紫外輻射光源的清洗箱，其特征在于：所述光源還包括一玻璃粉燒結層，所述玻璃粉燒結層的上方連接所述場發射陰極陣列，所述玻璃粉燒結層的下方連接所述導電層或所述紫外熒光粉層。?

8.根據權利要求7所述的采用場發射陣列激發的平板紫外輻射光源的清洗箱，其特征在于：所述玻璃粉燒結層與所述場發射陰極陣列之間還設有一由柵極構成的柵極層。?

9.根據權利要求8所述的采用場發射陣列激發的平板紫外輻射光源的清洗箱，其特征在于：所述場發射陰極陣列的陰極為呈針狀的陰極。?

10.根據權利要求8所述的采用場發射陣列激發的平板紫外輻射光源的清洗箱，其特征在于：所述場發射陰極陣列產生的電子束是短脈沖電子束或直流電子束。?