[實用新型]采用場發射陣列激發的平板紫外輻射光源的清洗箱

有效

• 申請號: 201320139128.7
• 申請日: 2013-03-25
• 公開（公告）號: CN203281553U
• 公開（公告）日: 2013-11-13
• 發明（設計）人: 鐘偉杰;趙健;夏忠平
• 申請（專利權）人: 上海顯恒光電科技股份有限公司
• 主分類號: B08B7/00
• 分類號: B08B7/00;H01K7/00
• 代理公司: 上海精晟知識產權代理有限公司 31253
• 代理人: 何新平

技術領域

本實用新型涉及精密加工領域，具體涉及紫外超精密清洗領域。?

背景技術

紫外光波長比可見光短，但比X射線長的電磁輻射。紫外光在電磁波譜中范圍波長為10-400nm。這范圍內開始于可見光的短波極限，而與長波X射線的波長相重疊。紫外光被劃分為A射線、B射線和C射線(簡稱UVA、UVB和UVC)，波長范圍分別為400-315nm，315-280nm，280-190nm。?

近年，由于大功率超高功率低氣壓UV放電管開發的進展，以及隨著微電子等產品的超微細化，在微電子、超精密器件等產品的制造過程中，由短波長紫外線及其產生的臭氧對其產品的表面進行超精密清洗或改善其表面的接著性、附著性的干式光表面處理技術的實用化進展得很快。現在，需要提高成品率的半導體器件、液晶表示元件、光學制品等制造中，紫外線UV和O3臭氧并用的干式光表面處理技術已成不可缺少的技術手段。作為氟里昂的替代技術，光表面清洗技術將逐漸取代濕式的傳統技術。?

但是所應用的紫外光源仍然存在光強弱、功耗高、故障率低等不足。?

實用新型內容

本實用新型的目的在于，提供一種采用場發射陣列激發的平板紫外輻射光源的清洗箱，解決以上技術問題。?

本實用新型所解決的技術問題可以采用以下技術方案來實現：?

采用場發射陣列激發的平板紫外輻射光源的清洗箱，包括紫外清洗箱主體，所述紫外清洗箱主體包括箱壁，所述箱壁圍成一清洗腔，所述清洗腔內設有清洗執行系統，所述清洗執行系統連接一紫外光源，以及一控制系統，其特征在于：?

所述紫外光源采用一場發射陣列激發的平板紫外輻射光源，所述場發射陣列激發的平板紫外輻射光源位于所述清洗腔內；?

所述光源包括一陽極板，所述陽極板上設有一紫外熒光粉層；?

所述光源還包括一場發射陰極陣列，所述場發射陰極陣列朝向所述陽極板。通過將傳統的精密器件清洗系統中的紫外光源替換為新型的場發射陣列激發的平板紫外輻射光源，由于場發射陣列激發的平板紫外輻射光源采用的是場發射陰極陣列，故光源整體呈板狀，可以直接作為箱蓋使用，增加了清洗腔的容積，而且板狀的光源均勻照射清洗腔，可以減少管狀光源造成的遮擋問題，提高清洗效果。?

所述紫外熒光粉層的出光面朝向所述清洗腔。以便進行精密清洗。?

所述出光面處設有一電動調光機構，所述電動調光機構連接所述控制系統。以便通過控制系統調整光強、焦點等光學參數。?

所述紫外清洗箱主體還包括箱蓋，所述箱蓋通過一轉軸連接所述箱壁，所述場發射陣列激發的平板紫外輻射光源位于所述箱蓋下方，所述場發射陣列激發的平板紫外輻射光源連接所述控制系統，所述控制系統設有一電源開關控制機構，所述電源開關控制機構與所述轉軸聯動。當打開箱蓋時，所述電源關閉，當合上箱蓋時，所述電源允許開啟。?

作為一種優選方案，所述紫外熒光粉層是摻雜導電微粒的紫外熒光粉層，所述摻雜導電微粒的紫外熒光粉層的下方固定有一陽極用石英玻璃層；?

所述場發射陰極陣列的上方還設有一陰極用石英玻璃層，所述場發射陰極陣列固定在所述陰極用石英玻璃層的下表面上。?

作為另一種優選方案，所述紫外熒光粉層的上方固定有一導電層，所述紫外熒光粉層的下方固定有一陽極用石英玻璃層；?

所述場發射陰極陣列的上方還設有一陰極用石英玻璃層，所述場發射陰極陣列固定在所述陰極用石英玻璃層的下表面上。?

所述光源還包括一玻璃粉燒結層，所述玻璃粉燒結層的上方連接所述場發射陰極陣列，所述玻璃粉燒結層的下方連接所述導電層或所述紫外熒光粉層。?

為了方便開關電子束或改變電子束強度，從而實現光源的開關或光源強?度的改變，所述玻璃粉燒結層與所述場發射陰極陣列之間還設有一由柵極構成的柵極層。這樣通過調整柵極電位就可以開關電子束或改變電子束強度，進而開關光源或改變光源發出紫外的強度。?

所述場發射陰極陣列的陰極優選呈針狀的陰極。所述場發射陰極陣列產生的電子束可以是短脈沖電子束或直流電子束。?

該光源正常工作時，陰極接地，柵極接負電位-50V～-100V，鋁膜層接5kV～10kV正高壓，陽極高壓在場發射針尖陰極處形成強電場，場發射針尖發射電子束，經過高壓電場加速的電子穿透鋁膜轟擊紫外熒光粉，激發出相應波段的紫外光從石英玻璃透射出來。調整柵極電位可以開關電子束或改變電子束強度，進而開關光源或改變光源發出紫外的強度。?

附圖說明

圖1為本實用新型的光源的主要部分的一種結構示意圖。?

具體實施方式