[實(shí)用新型]磷烷氣體提純裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320138833.5
• 申請(qǐng)日: 2013-03-25
• 公開（公告）號(hào): CN203247098U
• 公開（公告）日: 2013-10-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 魏明存
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 珠海欣宏電子化學(xué)材料有限公司
• 主分類號(hào): C01B25/06
• 分類號(hào): C01B25/06
• 代理公司: 廣東秉德律師事務(wù)所 44291
• 代理人: 閆有幸;楊煥軍

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及氣體提純技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種磷烷氣體提純裝置。

背景技術(shù)

高純度電子氣體在電子信息產(chǎn)品、航空航天、高效太陽(yáng)能電池、軍事工業(yè)等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用。目前有能力生產(chǎn)5.5N級(jí)以上高純度電子氣體的只有少數(shù)幾個(gè)國(guó)家。磷烷作為一種電子氣體，目前的提純工藝為包括低溫真空分離、吸附干燥、精餾和催化劑（鎵-銦合金、鎳催化劑）深吸附等步驟。例如，中國(guó)專利文獻(xiàn)CN102398898A公開了上述工藝步驟。但是，該工藝步驟由于采用吸附催化劑進(jìn)行吸附，催化劑吸附壽命短，磷烷氣體產(chǎn)量低，生產(chǎn)成本高。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型目的在于提供一種提純的磷烷氣體達(dá)5.5N級(jí)以上純度且產(chǎn)量高、生產(chǎn)成本低的磷烷氣體提純裝置。

上述目的通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)：

一種磷烷氣體提純裝置，其特征在于：包括初級(jí)吸附器、化學(xué)吸附反應(yīng)器及三級(jí)吸附器，所述初級(jí)吸附器、化學(xué)吸附反應(yīng)器及三級(jí)吸附器通過(guò)管道依次相連通，并分別與雜質(zhì)排出管道相連通，所述化學(xué)吸附反應(yīng)器及三級(jí)吸附器分別與吹洗管道相連通，所述初級(jí)吸附器連接有粗品磷烷輸入管道，所述三級(jí)吸附器連接有純凈磷烷輸出管道。

作為具體的技術(shù)方案，所述初級(jí)吸附器與化學(xué)吸附反應(yīng)器之間串接有隔膜閥，所述化學(xué)吸附反應(yīng)器與三級(jí)吸附器之間串接有隔膜閥。

作為具體的技術(shù)方案，所述初級(jí)吸附器、化學(xué)吸附反應(yīng)器及三級(jí)吸附器分別連接有加熱器。

作為具體的技術(shù)方案，所述三級(jí)吸附器的輸出口連接有過(guò)濾器。

本實(shí)用新型提供的磷烷氣體提純裝置的有益效果在于：由于采用三級(jí)吸附器進(jìn)行三級(jí)凈化，使提純的磷烷氣體達(dá)5.5N級(jí)以上純度，且本裝置產(chǎn)量高、生產(chǎn)成本低。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型提供的磷烷氣體提純裝置的示意圖。

具體實(shí)施方式

如圖1所示，本實(shí)用新型實(shí)施例提供的磷烷氣體提純裝置包括初級(jí)吸附器1、化學(xué)吸附反應(yīng)器2及三級(jí)吸附器3。

繼續(xù)參看圖1，初級(jí)吸附器1外表面包覆有電加熱器7，電加熱器7設(shè)有兩個(gè)溫度傳感器10、11。初級(jí)吸附器1的輸入口連接有粗品磷烷輸入管道16，粗品磷烷通過(guò)該管道進(jìn)入初級(jí)吸附器1，初級(jí)吸附器1內(nèi)設(shè)有吸附劑(圖中未示出)，粗品磷烷在初級(jí)吸附器1完成初級(jí)凈化，初步去除不相干雜質(zhì)后的初級(jí)凈化磷烷從初級(jí)吸附器1的輸出口輸出。初級(jí)吸附器1的輸出口與化學(xué)吸附反應(yīng)器2的輸入口通過(guò)管道相連通，管道中間串接有隔膜閥4。

化學(xué)吸附反應(yīng)器2的下端連接有電加熱器8，電加熱器8設(shè)有溫度傳感器12。初級(jí)凈化磷烷經(jīng)由管道從化學(xué)吸附反應(yīng)器2的輸入口進(jìn)入化學(xué)吸附反應(yīng)器2內(nèi)，化學(xué)吸附反應(yīng)器2內(nèi)設(shè)有化學(xué)吸附劑(圖中未示出)，初級(jí)凈化磷烷在化學(xué)吸附反應(yīng)器2內(nèi)通過(guò)化學(xué)反應(yīng)完成二級(jí)凈化，去除氧氣、水、硫化氫等雜質(zhì)后的二級(jí)凈化磷烷從化學(xué)吸附反應(yīng)器2的輸出口輸出。化學(xué)吸附反應(yīng)器2的輸出口與三級(jí)吸附器3的輸入口通過(guò)管道相連通，管道中間串接有隔膜閥5、6，并設(shè)有壓力表20。

三級(jí)吸附器3外表面包覆有電加熱器9，電加熱器9設(shè)有兩個(gè)溫度傳感器13、14。二級(jí)凈化磷烷經(jīng)由管道從三級(jí)吸附器3的輸入口進(jìn)入三級(jí)吸附器3內(nèi)，三級(jí)吸附器3內(nèi)設(shè)有吸附劑(圖中未示出)，二級(jí)凈化磷烷在三級(jí)吸附器3內(nèi)完成三級(jí)凈化，將磷烷進(jìn)一步提純至99.9995%（質(zhì)量百分比）。三級(jí)吸附器3的輸出口通過(guò)過(guò)濾器15連接純凈磷烷輸出管道17，經(jīng)三級(jí)凈化后的純凈磷烷經(jīng)由三級(jí)吸附器3的輸出口及過(guò)濾器15從該管道輸出。

初級(jí)吸附器1、化學(xué)吸附反應(yīng)器2及三級(jí)吸附器3各自的輸出管道分別與雜質(zhì)排出管道18相連通，并由相應(yīng)的隔膜閥控制通、斷。化學(xué)吸附反應(yīng)器2及三級(jí)吸附器3各自的輸出管道分別與吹洗管道19相連通，并由相應(yīng)的隔膜閥控制通、斷。初級(jí)吸附器1及三級(jí)吸附器3設(shè)有冷卻水流通管道，并由相應(yīng)的管道閥控制通、斷。本實(shí)用新型的提純裝置的提純過(guò)程在常溫條件下進(jìn)行，電加熱器7及電加熱器9只是在進(jìn)行規(guī)程操作時(shí)使用。

本實(shí)用新型不局限于上述實(shí)施例，基于上述實(shí)施例的、未做出創(chuàng)造性勞動(dòng)的簡(jiǎn)單替換，應(yīng)當(dāng)屬于本實(shí)用新型揭露的范圍。