[實用新型]磷烷氣體提純裝置

有效

• 申請號: 201320138833.5
• 申請日: 2013-03-25
• 公開（公告）號: CN203247098U
• 公開（公告）日: 2013-10-23
• 發明（設計）人: 魏明存
• 申請（專利權）人: 珠海欣宏電子化學材料有限公司
• 主分類號: C01B25/06
• 分類號: C01B25/06
• 代理公司: 廣東秉德律師事務所 44291
• 代理人: 閆有幸;楊煥軍

1.一種磷烷氣體提純裝置，其特征在于：包括初級吸附器（1）、化學吸附反應器（2）及三級吸附器（3），所述初級吸附器（1）、化學吸附反應器（2）及三級吸附器（3）通過管道依次相連通，并分別與雜質排出管道（18）相連通，所述化學吸附反應器（2）及三級吸附器（3）分別與吹洗管道（19）相連通，所述初級吸附器（1）連接有粗品磷烷輸入管道（16），所述三級吸附器（3）連接有純凈磷烷輸出管道（17）。

2.如權利要求1所述的磷烷氣體提純裝置，其特征在于：所述初級吸附器（1）與化學吸附反應器（2）之間串接有隔膜閥（4），所述化學吸附反應器（2）與三級吸附器（3）之間串接有隔膜閥（5、6）。

3.如權利要求1或2所述的磷烷氣體提純裝置，其特征在于：所述初級吸附器（1）、化學吸附反應器（2）及三級吸附器（3）分別連接有加熱器（7、8、9）。

4.如權利要求1或2所述的磷烷氣體提純裝置，其特征在于：所述三級吸附器（3）的輸出口連接有過濾器（15）。