[實用新型]一種帶清洗、烘干裝置的蝕刻、去膜生產線系統有效
| 申請號： | 201320128336.7 | 申請日： | 2013-03-20 |
| 公開（公告）號： | CN203346478U | 公開（公告）日： | 2013-12-18 |
| 發明（設計）人： | 何公明 | 申請（專利權）人： | 寧波東盛集成電路元件有限公司 |
| 主分類號： | C23F1/08 | 分類號： | C23F1/08 |
| 代理公司： | 上海申新律師事務所 31272 | 代理人： | 竺路玲 |
| 地址： | 315800 浙*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 清洗 烘干 裝置 蝕刻 生產線 系統 | ||
【權利要求書】：
1.一種帶清洗、烘干裝置的蝕刻、去膜生產線系統，其特征在于，包括：印刷裝置、曝光裝置、顯影裝置、蝕刻裝置、清洗裝置，所述曝光裝置分別與所述印刷裝置以及顯影裝置連接，所述蝕刻裝置的后段與所述清洗裝置連接，所述顯影裝置的后段與所述蝕刻裝置連接，所述清洗裝置的后段與去膜裝置連接、所述去膜裝置后段與水洗裝置連接，所述水洗裝置的后段與烘干裝置連接。?
2.根據權利要求1所述的帶清洗、烘干裝置的蝕刻、去膜生產線系統，其特征在于，所述清洗裝置與所述去膜裝置之間設有膨松裝置。?
3.根據權利要求1所述的帶清洗、烘干裝置的蝕刻、去膜生產線系統，其特征在于，所述清洗裝置的外側設有第一報警裝置。?
4.根據權利要求1所述的帶清洗、烘干裝置的蝕刻、去膜生產線系統，其特征在于，所述水洗裝置外側設有第二報警裝置。?
5.根據權利要求1所述的帶清洗、烘干裝置的蝕刻、去膜生產線系統，其特征在于，在所述印刷裝置、曝光裝置、顯影裝置、蝕刻裝置以及清洗裝置的外側設有一罩體，所述罩體外側設有一空氣過濾器。?
6.根據權利要求2所述的帶清洗、烘干裝置的蝕刻、去膜生產線系統，其特征在于，所述清洗裝置與所述膨松裝置之間設有檢測裝置。?
7.根據權利要求1所述的帶清洗、烘干裝置的蝕刻、去膜生產線系統，其特征在于，所述烘干裝置為真空電加熱烘干機。?
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