[實用新型]原子層沉積裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320122884.9
• 申請日: 2013-03-18
• 公開（公告）號: CN203159709U
• 公開（公告）日: 2013-08-28
• 發(fā)明（設計）人: 吉田武史;石塚勇史
• 申請（專利權）人: 株式會社昭和真空
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44;C23C16/52
• 代理公司: 北京市浩天知識產(chǎn)權代理事務所 11276
• 代理人: 宋菲;劉云貴

技術領域

本實用新型涉及調(diào)整發(fā)光裝置的色度的原子層沉積裝置。

背景技術

近年來在各種領域中在作為光源的發(fā)光裝置中使用LED（發(fā)光二極管）。特別的，發(fā)出白色光的白色LED的需求很高。

LED光源的色度在期望范圍之外的話，該發(fā)光裝置則為次品。作為必須回避產(chǎn)生次品的調(diào)整色度的技術，公知有例如日本專利第4292794號公報。

實用新型內(nèi)容

實用新型所解決的技術問題

日本專利第4292794號公報中記載的發(fā)光裝置在光源裝置的表面?zhèn)染哂胁缓瑹晒怏w的非波長變換層。然后通過研磨該非波長變換層來調(diào)整色度。然而，具有這樣研磨工序的色度調(diào)整方法在非波長變換層為非平坦表面的情況下，例如在球面的情況下，具有調(diào)整困難的問題。

本實用新型目的在于提供制造可獲得期望色度的發(fā)光裝置的原子層沉積裝置。

解決問題的技術方案

為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供的原子層沉積裝置具有：搭載發(fā)光裝置的承載臺，測定所述發(fā)光裝置的色度的光特性測定裝置，具備排氣裝置的反應容器，以及向所述反應容器的內(nèi)部供給原料氣體的第1給氣部。

所述光特性測定裝置可具有：與所述發(fā)光裝置的導電體連接的連接端子，連接于所述連接端子的電源，與所述發(fā)光裝置對向配置的，接受所述發(fā)光裝置射出的光的探頭，以及與所述探頭連接，測定所述探頭接受的光的測定裝置。

所述原子層沉積裝置可進一步具有基于所述光特性測定裝置的輸出控制

所述第1給氣部的控制部。

所述原子層沉積裝置可進一步具有在所述承載臺上搭載多個所述發(fā)光裝置的轉(zhuǎn)移機。

所述原料氣體可包括Ti、Zn、Ta或Nb，且原子層沉積裝置可進一步具有向所述反應容器內(nèi)部供給氧氣的第2給氣部。

所述發(fā)光裝置可具有發(fā)出藍色光的發(fā)光二極管元件、和由所述藍色光激發(fā)發(fā)出熒光的熒光體。

所述發(fā)光裝置可具有炮彈型形狀。

所述探頭可具有彎曲形狀，可使得所述發(fā)光裝置的光出射面對向配置于所述探頭的彎曲內(nèi)面。

可在所述反應容器的內(nèi)部配置所述連接端子。

可在所述反應容器的內(nèi)部配置所述探頭。

可設置保護所述探頭不受所述原料氣體影響的屏蔽板。

在所述反應容器的內(nèi)部可進一步具有移動所述承載臺或所述探頭的臂，所述原子層沉積裝置可具有驅(qū)動機構，其分別移動所述承載臺或所述探頭到，搭載在所述承載臺上的所述發(fā)光裝置與所述探頭對向的位置和與所述探頭分離的位置。

可以透過性材料構成所述反應容器壁的一部分，配置于所述反應容器的外部的所述探頭和所述反應容器內(nèi)部配置的所述發(fā)光裝置可對向配置。

在所述反應容器的內(nèi)部可導入光纖，在所述反應容器的外部可設置檢測入射到所述光纖的光的檢測部。

實用新型的效果

根據(jù)本實用新型，可以提供制造可獲得期望色度的發(fā)光裝置的原子層沉積裝置。

附圖說明

圖1是顯示發(fā)光裝置的截面圖。

圖2是顯示本實用新型的第1實施方式的原子層沉積裝置的光特性測定裝置的示意圖。

圖3（a）-（c）是標示發(fā)光裝置的色度（x，y）的坐標圖。

圖4是顯示本實用新型的第1實施方式的原子層沉積裝置的成膜室的示意圖。

圖5是顯示濺射法形成的透明膜的示例的圖片。

圖6是顯示本實用新型的第2實施方式的原子層沉積裝置的成膜室的示意圖。

圖7是顯示本實用新型的第3實施方式的原子層沉積裝置的成膜室的示意圖。

圖8是顯示接續(xù)圖7的成膜室的示意圖。

圖9是顯示原子層沉積裝置的變形例的示意圖。

圖10是顯示原子層沉積裝置的變形例的示意圖。

圖11是顯示表面安裝型發(fā)光裝置的截面圖。

具體實施方式

以下參照附圖說明本實用新型的實施方式。

第1實施方式

圖1中顯示了發(fā)光裝置10。發(fā)光裝置10具有基板11、導電體12a、12b、LED元件13、配線14a、14b、灌封樹脂15、熒光體16和透明樹脂17。發(fā)光裝置10為所謂的炮彈型發(fā)光裝置。

灌封樹脂15填充于反射部19內(nèi)以灌封LED元件13的上面和側(cè)面。

熒光體16分散的分布于灌封樹脂15內(nèi)。