[實用新型]用于對受測試電子裝置進行電氣檢查的設備

有效

• 申請號: 201320120733.X
• 申請日: 2013-03-15
• 公開（公告）號: CN203588644U
• 公開（公告）日: 2014-05-07
• 發明（設計）人: 托馬斯·H·貝利;勞埃德·瓊斯
• 申請（專利權）人: 飛騰動力公司
• 主分類號: G09G3/00
• 分類號: G09G3/00
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 吳曉輝

1.一種用于對受測試電子裝置進行電氣檢查的設備，其特征在于所述設備包括：?

a.檢查頭，其包括：電光調制器；偏置電壓源，其產生施加到所述電光調制器的偏置電壓模式；光源，其用于產生用于照射所述電光調制器的光脈沖；非遠心透鏡組合件和相機，其用于獲取所述被照射的電光調制器的圖像；以及?

b.驅動電子器件，其經配置以將電壓信號施加到所述受測試電子裝置，其中所述照射光脈沖在照射到所述電光調制器之前不通過所述非遠心透鏡組合件。?

2.根據權利要求1所述的檢查設備，其特征在于所述檢查設備進一步包括折疊鏡。?

3.根據權利要求1所述的檢查設備，其特征在于所述檢查設備進一步包括光束分離器，其中所述光源包括一發光二極管LED或安置于所述光束分離器的同一側上的不同波長的多個發光二極管LED。?

4.根據權利要求1所述的檢查設備，其特征在于所述檢查設備進一步包括光束分離器，其中所述光源包括一發光二極管LED或安置于所述光束分離器的相對側上的不同波長的多個發光二極管LED。?

5.根據權利要求1所述的檢查設備，其特征在于所述光源包括經配置以產生一種或若干種波長的光的光照射器片。?

6.根據權利要求1所述的檢查設備，其特征在于所述檢查設備進一步包括用于將所述光源成像到所述非遠心透鏡組合件的入射光瞳中的折射性聚光透鏡。?

7.根據權利要求1所述的檢查設備，其特征在于所述檢查設備進一步包括聚光器，其中所述聚光器包括具有橢圓形狀的反射性內表面。?

8.根據權利要求1所述的檢查設備，其特征在于所述檢查設備進一步包括聚光器，其中所述聚光器包括反射性菲涅爾表面。?

9.根據權利要求1所述的檢查設備，其特征在于所述檢查設備進一步包括聚光器，其中所述聚光器包括具有非球面形狀的反射性內表面。?

10.根據權利要求1所述的檢查設備，其特征在于所述檢查設備進一步包括反射性聚光器，其中所述光源安置在所述聚光器的內部橢圓表面的第一軌線處，且被成像到與所述非遠心透鏡組合件的光瞳重合的第二軌線。?

11.根據權利要求1所述的檢查設備，其特征在于所述檢查設備進一步包括安置在所述照射光脈沖的光學路徑中的漫射器、變跡器或聚光透鏡中的至少一者。?

12.根據權利要求1所述的檢查設備，其特征在于所述光源包括發光二極管LED。?

13.根據權利要求1所述的檢查設備，其特征在于所述光源包括在不同波長下操作的兩個發光二極管LED。?

14.根據權利要求1所述的檢查設備，其特征在于所述檢查設備進一步包括用于將所述照射光脈沖引導到所述電光調制器上的光束分離器。?

15.根據權利要求1所述的檢查設備，其特征在于所述檢查設備進一步包括透鏡光瞳，所述透鏡光瞳經配置以使得將所述光源成像到所述透鏡光瞳中。?

16.根據權利要求1所述的檢查設備，其特征在于所述光源包括光照射器片，所述檢查設備進一步包括定位在所述光照射器片之后且經配置以防止對所述電光調制器的直接照射的遮板。?

17.根據權利要求1所述的檢查設備，其特征在于所述檢查設備進一步包括鏡掃描器。?

18.根據權利要求1所述的檢查設備，其特征在于所述檢查設備進一步包括柔性光束分離器，所述柔性光束分離器的表面形狀可調整以優化照射所述電光調制器的光的照射特性。?

19.根據權利要求1所述的檢查設備，其特征在于所述電光調制器相對于所述非遠心透鏡組合件和所述相機是固定的。?

20.根據權利要求1所述的檢查設備，其特征在于所述檢查設備進一步包括用于使用所述被照射的電光調制器的所述所獲取圖像來計算每一部位處的放大率的處理單元。?

21.根據權利要求1所述的檢查設備，其特征在于所述檢查設備進一步包括用于使用線性可變差動變壓器LVDT值計算放大率并校正非遠心誤差的處理單元。?