[實用新型]排氣裝置以及真空設備

有效

• 申請號: 201320120568.8
• 申請日: 2013-03-15
• 公開（公告）號: CN203130418U
• 公開（公告）日: 2013-08-14
• 發明（設計）人: 申勁浩;李建興;何寧
• 申請（專利權）人: 成都天馬微電子有限公司;天馬微電子股份有限公司
• 主分類號: F04B39/00
• 分類號: F04B39/00
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 鄭瑋

技術領域

本實用新型涉及真空排氣技術領域，特別是涉及一種排氣裝置以及真空設備。

背景技術

目前，在干法刻蝕等真空設備中，刻蝕前，需要通過真空泵先對真空設備進行抽真空，并通過排氣管路將氣體排出。在現有技術中，如圖1所示，在真空設備100中，所述真空泵110用于抽真空，所述真空泵110位于所述排氣管路120的下方，所述排氣管路120為直管型，所述真空泵110將抽出的氣體從所述排氣管路120排出。

但是，在干法刻蝕過程中，反應腔中的反應氣體會使用到六氟化硫(SF₆)等特殊氣體，以對待刻膜層進行刻蝕工藝。在所述反應腔中，六氟化硫(SF₆)等特殊氣體會解離為F⁺等離子體，以對待刻膜層進行刻蝕反應。然而，所述反應腔中通入的六氟化硫是過量的，所以，未反應F⁺等離子體被所述真空泵110抽出后，會順著所述排氣管路120排出，圖1中的虛線箭頭方向為氣體的排出方向。但在F⁺從所述排氣管路120的上方的排氣口排出前，F⁺會和所述排氣管路120中水汽反應產生氫氟酸液體121。因為現有的所述排氣管路120為直管型，所述氫氟酸液體121由于重力作用，會直接回流進入所述真空泵110，圖1中的實線箭頭方向為所述氫氟酸液體121的回流方向。由于所述氫氟酸液體121具有強酸性，會對所述真空泵110產生腐蝕作用，從而導致所述真空泵110使用壽命的降低。

因此，如何提供一種排氣裝置，可以防止氫氟酸等液體回流進入真空泵，并且可以方便地對液體進行收集和處理，已成為本領域技術人員需要解決的問題。

實用新型內容

本實用新型的目的在于，提供一種排氣裝置以及真空設備，可以防止液體回流進入真空泵，并且可以方便地對液體進行收集和處理。

為解決上述技術問題，本實用新型提供一種排氣裝置，設置于真空泵與排氣管路之間，所述排氣裝置包括第一口、第二口、用于存儲液體的緩存區以及氣體傳輸管，所述緩存區正對所述第一口，所述氣體傳輸管的一端與所述第一口連通，所述氣體傳輸管的另一端與所述第二口連通，所述第一口連接于所述排氣管路的下方，所述第二口連接所述真空泵。

進一步的，在所述排氣裝置中，所述緩存區為一端開口的直管，所述緩存區的開口正對所述第一口，所述氣體傳輸管為一彎管，所述氣體傳輸管的一端從所述緩存區的側壁引出并連通所述緩存區的內腔，所述第二口與所述第一口的開口方向相反。

進一步的，在所述排氣裝置中，所述氣體傳輸管為U形。

進一步的，在所述排氣裝置中，所述第二口的中心軸線與所述緩存區的中心軸線位于同一條直線上。

進一步的，在所述排氣裝置中，所述排氣裝置還包括可拆卸的波紋管，所述氣體傳輸管包括第一部分和第二部分，所述波紋管的兩端連接分別連接所述氣體傳輸管的第一部分和第二部分，與所述氣體傳輸管共同形成一個管道整體。

根據本實用新型的另一面，本實用新型還提供一種真空設備，包括真空泵和與所述真空泵相連通的排氣管路，所述真空設備還包括所述的排氣裝置。

進一步的，在所述真空設備中，所述緩存區為一端開口的直管，所述緩存區的開口正對所述第一口，所述氣體傳輸管為一彎管，所述氣體傳輸管的一端從所述緩存區的側壁引出并連通所述緩存區的內腔，所述第二口與所述第一口的開口方向相反。

進一步的，在所述真空設備中，所述氣體傳輸管為U形。

進一步的，在所述真空設備中，所述第二口的中心軸線與所述緩存區的中心軸線位于同一條直線上。

進一步的，在所述真空設備中，所述排氣裝置還包括可拆卸的波紋管，所述氣體傳輸管包括第一部分和第二部分，所述波紋管的兩端連接分別連接所述氣體傳輸管的第一部分和第二部分，與所述氣體傳輸管共同形成一個管道整體。

與現有技術相比，本實用新型提供的排氣裝置以及真空設備具有以下優點：

1、本實用新型提供一種排氣裝置以及真空設備，該排氣裝置的所述緩存區正對所述第一口，所述氣體傳輸管的一端與所述第一口連通，所述氣體傳輸管的另一端與所述第二口連通，所述第一口連接于所述排氣管路的下方，所述第二口連接所述真空泵，與現有技術相比，在所述排氣管路中形成的液體回流時，由于重力作用，所述液體會直接回流進入所述緩存區，可以防止所述液體回流進入真空泵，并且，所述排氣裝置安裝于所述真空泵與排氣管路之間，可以通過拆卸所述排氣裝置對液體進行收集和處理，方便易實施。