[實用新型]排氣裝置以及真空設備

有效

• 申請號: 201320120568.8
• 申請日: 2013-03-15
• 公開（公告）號: CN203130418U
• 公開（公告）日: 2013-08-14
• 發明（設計）人: 申勁浩;李建興;何寧
• 申請（專利權）人: 成都天馬微電子有限公司;天馬微電子股份有限公司
• 主分類號: F04B39/00
• 分類號: F04B39/00
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 鄭瑋

1.一種排氣裝置，設置于真空泵與排氣管路之間，其特征在于，所述排氣裝置包括第一口、第二口、用于存儲液體的緩存區以及氣體傳輸管，所述緩存區正對所述第一口，所述氣體傳輸管的一端與所述第一口連通，所述氣體傳輸管的另一端與所述第二口連通，所述第一口連接于所述排氣管路的下方，所述第二口連接所述真空泵。

2.如權利要求1所述排氣裝置，其特征在于，所述緩存區為一端開口的直管，所述緩存區的開口正對所述第一口，所述氣體傳輸管為一彎管，所述氣體傳輸管的一端從所述緩存區的側壁引出并連通所述緩存區的內腔，所述第二口與所述第一口的開口方向相反。

3.如權利要求2所述排氣裝置，其特征在于，所述氣體傳輸管為U形。

4.如權利要求2所述排氣裝置，其特征在于，所述第二口的中心軸線與所述緩存區的中心軸線位于同一條直線上。

5.如權利要求1-4中任意一項所述排氣裝置，其特征在于，所述排氣裝置還包括可拆卸的波紋管，所述氣體傳輸管包括第一部分和第二部分，所述波紋管的兩端連接分別連接所述氣體傳輸管的第一部分和第二部分，與所述氣體傳輸管共同形成一個管道整體。

6.一種真空設備，包括真空泵和與所述真空泵相連通的排氣管路，其特征在于，所述真空設備還包括如權利要求1所述的排氣裝置。

7.如權利要求6所述真空設備，其特征在于，所述緩存區為一端開口的直管，所述緩存區的開口正對所述第一口，所述氣體傳輸管為一彎管，所述氣體傳輸管的一端從所述緩存區的側壁引出并連通所述緩存區的內腔，所述第二口與所述第一口的開口方向相反。

8.如權利要求7所述真空設備，其特征在于，所述氣體傳輸管為U形。

9.如權利要求7所述真空設備，其特征在于，所述第二口的中心軸線與所述緩存區的中心軸線位于同一條直線上。

10.如權利要求6-9中任意一項所述真空設備，其特征在于，所述排氣裝置還包括可拆卸的波紋管，所述氣體傳輸管包括第一部分和第二部分，所述波紋管的兩端連接分別連接所述氣體傳輸管的第一部分和第二部分，與所述氣體傳輸管共同形成一個管道整體。