[實用新型]一種紫外光源均光裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320095025.5
• 申請日: 2013-03-04
• 公開（公告）號: CN203083699U
• 公開（公告）日: 2013-07-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張玉國;孫紅勝;魏建強;王加朋;孫廣尉;任小婉;宋春暉
• 申請（專利權(quán)）人: 北京振興計量測試研究所
• 主分類號: G01J1/08
• 分類號: G01J1/08;G02B5/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及紫外-真空紫外輻射量計量測試領(lǐng)域，具體的講是一種紫外光源均光裝置。

背景技術(shù)

隨著我國探月計劃及其它太空計劃的開展，紫外載荷及設(shè)備的應(yīng)用越來越廣，作用也日益重要，同時，國內(nèi)在導(dǎo)彈技術(shù)研究中正開展包括紫外制導(dǎo)的雙模復(fù)合制導(dǎo)研究。在這些紫外領(lǐng)域開展的研究工作中，需要用到各類紫外設(shè)備及部件，包括光源、探測器、真空紫外光譜儀、臭氧垂直探測用真空紫外光譜輻射計、紫外成像器、紫外臨邊成像儀等，這些設(shè)備及其部件都需要進行計量測試及校準(zhǔn)，以準(zhǔn)確掌握這些設(shè)備及部件的特性，同時完成量值傳遞，為這些設(shè)備及組件的應(yīng)用提供技術(shù)基礎(chǔ)支撐。

在紫外-真空紫外光譜輻照度計量、測試及校準(zhǔn)過程中，為了保證計量、測試及校準(zhǔn)的準(zhǔn)確性，必須對光源發(fā)出的光輻射進行均勻化，均勻光輻射的水平在很大程度上決定了計量、測試及校準(zhǔn)的精度。因此，光源勻光技術(shù)是紫外-真空紫外光譜輻照度計量系統(tǒng)中的一項關(guān)鍵技術(shù)。

在紫外-真空紫外光譜輻照度計量測試系統(tǒng)中，光源勻光采用漫射器，其主要作用為校正光源空間輻射方向性差異，以便精確測量出光源在某一距離處的輻照度。在傳統(tǒng)的光譜輻照度計量中，一般的漫射器主要有漫反射板、積分球、漫透射板等形式。對于紫外-真空紫外波段，對漫射器提出了更高的要求。一方面，即要保證余弦校正效果，另一方面又要保證光譜透射范圍、透射率以及信噪比等因素。

現(xiàn)有技術(shù)的方法是采用積分球或漫反射板，材料選用聚四氟乙烯。但是聚四氟乙烯的反射波段范圍在250nm處已經(jīng)產(chǎn)生強烈的衰減，無法對整個紫外-真空紫外波段形成全面覆蓋；如果選用鋁作為反射材料，氧化后的鋁只能反射到160nm波段，且反射率低。

實用新型內(nèi)容

為了解決現(xiàn)有技術(shù)中對紫外-真空紫外波段范圍的紫外光的輻射度計量中衰減和處理波段缺陷等問題，提供了一種紫外光源均光裝置，可以覆蓋整個紫外-真空紫外波段(110nm～400nm)對光源發(fā)出的光輻射進行均勻化，以滿足該波段內(nèi)光譜輻照的計量測試需求。

本實用新型實施例提供了一種紫外光源均光裝置，包括：

復(fù)數(shù)個漫射器，驅(qū)動單元；

每個所述的漫射器用于對特定波段的入射紫外光進行均光和聚焦；

所述驅(qū)動單元用于根據(jù)測試的需要調(diào)節(jié)相應(yīng)的漫射器位于光路中。

根據(jù)本實用新型實施例所述的一種紫外光源均光裝置的一個進一步的方面，所述復(fù)數(shù)個漫射器連續(xù)覆蓋在110nm-400nm的紫外-真空紫外波段。

根據(jù)本實用新型實施例所述的一種紫外光源均光裝置的再一個進一步的方面，所述復(fù)數(shù)個漫射器包括3個漫射器，所述3個漫射器覆蓋的波段分別為110nm～130nm、130nm～200nm和200nm～400nm。

根據(jù)本實用新型實施例所述的一種紫外光源均光裝置的另一個進一步的方面，所述漫射器一面為平面的漫射面，另一面為拋光的凸面；或者所述平面為拋光面，所述凸面為漫射面；或者平面和凸面均為漫射面。

根據(jù)本實用新型實施例所述的一種紫外光源均光裝置的另一個進一步的方面，所述3個漫射器中的第一漫射器工作波段為110nm～130nm，材料為氟化鋰單晶，其凸面的曲率半徑為81.56mm，整體厚度為4±0.1mm，通光口徑為26mm，焦距數(shù)為9；

第二漫射器工作波段為130nm～200nm，材料為氟化鈣單晶，其凸面的曲率半徑為77.35mm，整體厚度為4±0.1mm，通光口徑為26mm，F(xiàn)數(shù)為9；

第三漫射器工作波段為200nm～400nm，材料為氟化鈣單晶，其凸面的曲率半徑為168.31mm，整體厚度為6±0.1mm，通光口徑為64mm，F(xiàn)數(shù)為9。

通過本實用新型實施例，由于采用了工作于110nm-400nm紫外光波段范圍的復(fù)數(shù)個漫射鏡均光和聚焦，保證了以點光源或面光源作為紫外光源時的光譜輻照度校準(zhǔn)既可以產(chǎn)生很好的余弦校正效應(yīng)，又能保證系統(tǒng)的信噪比。

附圖說明

結(jié)合以下附圖閱讀對實施例的詳細描述，本實用新型的上述特征和優(yōu)點，以及額外的特征和優(yōu)點，將會更加清楚。

圖1給出了根據(jù)本實用新型的一個實施例一種紫外光源均光裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2所示為本實用新型實施例第一漫射器的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3所示為本實用新型實施例第二漫射器的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4所示為本實用新型實施例第三漫射器的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5所示為本實用新型實施例對點光源進行光譜輻照度校準(zhǔn)時的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖；

圖6所示為本實用新型實施例對面光源進行光譜輻照度校準(zhǔn)時的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖。

具體實施方式