[實用新型]石英外管保護裝置及爐管

有效

• 申請號: 201320094042.7
• 申請日: 2013-03-01
• 公開（公告）號: CN203128653U
• 公開（公告）日: 2013-08-14
• 發明（設計）人: 沈建飛;任瑞龍
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44;C23C16/24
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種石英外管保護裝置，其特征在于，包括碳化硅保護蓋、碳化硅保護蓋支架以及外管底部支架，所述碳化硅保護蓋通過所述外管底部支架安裝于石英外管的底部內側壁上，所述碳化硅保護蓋支架安裝于所述外管底部支架上，所述碳化硅保護蓋支架能夠將所述外管底部支架遮蔽。

2.如權利要求1所述的石英外管保護裝置，其特征在于，所述外管底部支架包括第一圓管形板和連接板，所述第一圓管形板和所述石英外管同心設置且位于所述石英外管的內側，所述第一圓管形板和所述石英外管通過所述連接板固定連接。

3.如權利要求2所述的石英外管保護裝置，其特征在于，所述碳化硅保護蓋包括第二圓管形板，且所述第二圓管形板位于所述第一圓管形板和石英外管之間。

4.如權利要求3所述的石英外管保護裝置，其特征在于，所述第一圓管形板由若干第一圓弧形板拼接而成。

5.如權利要求4所述的石英外管保護裝置，其特征在于，所述第二圓管形板由若干第二圓弧形板拼接而成，所述若干第二圓弧形板與所述若干第一圓弧形板一一對應。

6.如權利要求2所述的石英外管保護裝置，其特征在于，所述碳化硅保護蓋支架包括內圓管形板、外圓管形板和頂蓋板，所述第一圓管形板的直徑大于所述內圓管形板的直徑且小于所述外圓管形板的直徑，所述頂蓋板設置于所述內圓管形板和所述外圓管形板頂部且向外側方向延伸。

7.一種爐管，其特征在于，包括石英外管和如權利要求1至6中任意一項所述的石英外管保護裝置，所述石英外管保護裝置設置于所述石英外管的底部內側壁上。