[實用新型]用于真空泵與電子顯微鏡間的隔振裝置

有效

• 申請號: 201320093101.9
• 申請日: 2013-02-28
• 公開（公告）號: CN203103260U
• 公開（公告）日: 2013-07-31
• 發明（設計）人: 張軍安;耿俊清
• 申請（專利權）人: 北京中科科儀股份有限公司
• 主分類號: H01J37/02
• 分類號: H01J37/02
• 代理公司: 北京三聚陽光知識產權代理有限公司 11250
• 代理人: 張杰

本實用新型涉及儀器儀表（分析儀器）技術領域，具體地說是一種用于真空泵與電子顯微鏡間的隔振裝置。

電子顯微鏡成像需要在高真空環境下進行，以保證電子束在其路徑上不會被吸走或者產生偏向，而電子顯微鏡的高真空環境是依靠真空泵獲得的。分子泵作為應用于電子顯微鏡領域常用的一種真空泵，其通過利用高速旋轉的轉子把動量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅向排氣口后為設置在其前級的前級泵抽走。高速旋轉的轉子在工作時會產的振動，該振動對于要求精度很高的電子顯微鏡來說會產生很大的影響，主要體現在影響電子顯微鏡的成像，導致電子顯微鏡的分辨率降低。

目前，隨著分子泵技術快速發展，分子泵在工作過程中產生的振動越來越小，在用于電子顯微鏡抽真空的過程中分子泵對電子顯微鏡成像的影響也越來越小。然而隨著社會的發展，對于電子顯微鏡成像分辨率又提出了更高的要求，而通過提高分子泵技術來減小分子泵振動對電子顯微鏡成像的方式變得愈加困難，而且對于分子泵技術的研發周期長，經費高，所以單憑依靠提高分子泵技術來減小分子泵振動對電子顯微鏡成像影響的方式已經變得不再可取。

為此，本實用新型所要解決的技術問題在于現有技術中電子顯微鏡成像受到真空泵振動的影響而導致的分辨率低的問題，提供一種用于真空泵與電子顯微鏡間的隔振裝置，該隔振裝置可以有效降低真空泵振動對電子顯微鏡成像分辨率的影響。

為解決上述技術問題，本實用新型是一種用于真空泵與電子顯微鏡間的隔振裝置，包括第一連接座，與電子顯微鏡的待抽真空口固定連接；第二連接座，與所述第一連接座相對設置，且與真空泵的抽氣口連接；彈性隔離管，安裝于所述第一連接座與所述第二連接座之間，且其兩端分別與所述待抽真空口和所述抽氣口連通；支撐隔振柱，用于承重和吸振，設置在所述第一連接座與所述第二連接座之間，且其兩端分別與所述第一連接座和所述第二連接座的端面固定連接。

所述支撐隔振柱包括用于支撐電子顯微鏡的支撐部分和用于吸收真空泵振動的隔振部分。

所述支撐部分靠近所述第一連接座設置，且其端部與所述第一連接座端面固定連接；所述隔振部分靠近所述第二連接座設置，且其端部與所述第二連接座端面固定連接。

所述隔振部分采用橡膠材料。

所述彈性隔離管為金屬波紋管。

所述彈性隔離管為金屬波紋管。

所述支撐部分與所述隔振部分呈圓柱形且直徑相等。

所述金屬波紋管的兩端采用焊接方式分別與所述第一連接座和所述第二連接座固定連接。

所述隔振部分與所述第一連接座或者第二連接座螺釘連接。

所述支撐隔振柱設有多個，分別沿所述彈性隔離管周向均勻設置。

所述支撐隔振柱為4個。

本實用新型的上述技術方案相比現有技術具有以下優點：

1、在本實用新型中，支撐隔振柱既有承重作用又有吸振作用，設置于設置在所述第一連接座與所述第二連接座之間，且其兩端分別與所述第一連接座和所述第二連接座的端面固定連接，支撐隔振柱既可以用于支撐所述電子顯微鏡的重量，又可以隔離分子泵振動對電子顯微鏡產生的影響，提高了電子顯微鏡成像的分辨率。彈性隔離管，安裝于所述第一連接座與所述第二連接座之間，且其兩端分別與所述待抽真空口和所述抽氣口連通，所述彈性隔離管的設置保證了分子泵能順利地抽出電子顯微鏡中的空氣，而且彈性隔離管具有彈性，可以隨著所述支撐隔振柱在電子顯微鏡重力作用下向下方有一定的壓縮量。

2、在本實用新型中，所述支撐隔振柱包括用于支撐電子顯微鏡重量的支撐部分和用于吸收真空泵振動的隔振部分，所述支撐部分由合金鋼制成，價格較便宜，所述隔振部分采用既能吸收振動又能承重的橡膠材料，該種特殊的橡膠材料價格較貴，因此該種將所述支撐隔振柱做成兩部分的方式使得所述支撐隔振柱既能滿足本實用新型對其的要求，又采用分體的方式使價格較便宜的合金鋼代替部分價格較貴的橡膠作為支撐部分，減少了成本，并且生產工藝簡單，制作容易。

3、在本實用新型中，所述支撐部分靠近所述第一連接座設置，且其端部與所述第一連接座端面固定連接；所述隔振部分靠近所述第二連接座設置，且其端部與所述第二連接座端面固定連接,該種設置方式使得隔振部分靠近產生振動的分子泵，從而使隔振部分快速吸收振動，且吸振能力強，有效降低分子泵振動對電子顯微鏡成像產生的影響。