[實用新型]用于真空泵與電子顯微鏡間的隔振裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201320093101.9 | 申請日： | 2013-02-28 |
| 公開（公告）號： | CN203103260U | 公開（公告）日： | 2013-07-31 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 張軍安;耿俊清 | 申請（專利權(quán)）人： | 北京中科科儀股份有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/02 | 分類號： | H01J37/02 |
| 代理公司： | 北京三聚陽光知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11250 | 代理人： | 張杰 |
| 地址： | 100190 北*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 用于 真空泵 電子顯微鏡 裝置 | ||
用于真空泵與電子顯微鏡間的隔振裝置，其特征在于:包括
第一連接座，與電子顯微鏡的待抽真空口固定連接；
第二連接座，與所述第一連接座相對設(shè)置，且與真空泵的抽氣口連接；
彈性隔離管，安裝于所述第一連接座與所述第二連接座之間，且其兩端分別與所述待抽真空口和所述抽氣口連通；
支撐隔振柱（4），用于承重和吸振，設(shè)置在所述第一連接座與所述第二連接座之間，且其兩端分別與所述第一連接座和所述第二連接座的端面固定連接。
根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于真空泵與電子顯微鏡間的隔振裝置，其特征在于：所述支撐隔振柱（4）包括用于支撐電子顯微鏡重量的支撐部分（4a）和用于吸收真空泵振動的隔振部分（4b）。
根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于真空泵與電子顯微鏡間的隔振裝置，其特征在于：所述支撐部分（4a）靠近所述第一連接座設(shè)置，且其一端與所述第一連接座端面固定連接；所述隔振部分（4b）靠近所述第二連接座設(shè)置，且其一端與所述第二連接座端面固定連接。
根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的用于真空泵與電子顯微鏡間的隔振裝置，其特征在于：所述隔振部分（4b）采用橡膠材料。
根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于真空泵與電子顯微鏡間的隔振裝置，其特征在于：所述彈性隔離管為金屬波紋管（3）。
根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于真空泵與電子顯微鏡間的隔振裝置，其特征在于：所述支撐部分（4a）與所述隔振部分（4b）呈圓柱形且直徑相等。
根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的用于真空泵與電子顯微鏡間的隔振裝置，其特征在于：所述金屬波紋管（3）的兩端采用焊接方式分別與所述第一連接座和所述第二連接座固定連接。
根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于真空泵與電子顯微鏡間的隔振裝置，其特征在于：所述隔振部分（4b）與所述第一連接座或者第二連接座螺釘連接。
根據(jù)權(quán)利要求1?3中任一項所述的用于真空泵與電子顯微鏡間的隔振裝置，其特征在于：所述支撐隔振柱（4）設(shè)有多個，分別沿所述彈性隔離管周向均勻設(shè)置。
根據(jù)權(quán)利要求9所述的用于真空泵與電子顯微鏡間的隔振裝置，其特征在于：所述支撐隔振柱（4）為4個。
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