[實用新型]用于吹掃硅片表面灰塵的裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320088551.9
• 申請日: 2013-02-27
• 公開（公告）號: CN203155625U
• 公開（公告）日: 2013-08-28
• 發(fā)明（設計）人: 蔡振華;楊金軍
• 申請（專利權）人: 上海艾力克新能源有限公司
• 主分類號: B08B5/02
• 分類號: B08B5/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及硅片印刷前粉塵清理用具技術領域，具體是一種用于吹掃硅片表面灰塵的裝置。?

背景技術

硅片經(jīng)過烘箱后用行走臂運輸，因表面會有些粉塵附著硅片上在印刷時表面粉塵粘附在網(wǎng)版上，使網(wǎng)版網(wǎng)孔堵塞圖形無法完全印上。因此在印刷機印刷前加裝一個除塵器，來去除硅片表面粉塵。?

目前市場是還沒有能夠有效去除硅片表面有機物或粉塵的清掃裝置。?

實用新型內容

本實用新型針對現(xiàn)有技術中存在的上述不足，提供了一種用于吹掃硅片表面灰塵的裝置。?

本實用新型是通過以下技術方案實現(xiàn)的。?

一種用于吹掃硅片表面灰塵的裝置，包括空心銅管，所述空心銅管的兩端分別安裝有直通，兩個直通分別連接氣管，兩根氣管的自由端端部共同接入一個三通，所述三通接入壓縮空氣輸入管，所述壓縮空氣輸入管靠近三通處設有一個節(jié)流閥；所述空心銅管上設有若干出氣孔。?

優(yōu)選地，所述出氣孔的數(shù)量為多個，多個出氣孔排列為兩排，相鄰出氣孔之間的距離為10mm。?

優(yōu)選地，所述出氣孔呈低幅度鋸齒樣式結構。?

優(yōu)選地，所述直通為θ8轉θ6直通；所述氣管為θ6氣管，所述三通為θ6三通，所述節(jié)流閥為θ6節(jié)流閥。?

將本實用新型提供的用于吹掃硅片表面灰塵的裝置，固定在印刷機上，從而實現(xiàn)硅片的被印刷面得到風刀的清掃，實現(xiàn)除粉塵效果。?

本實用新型能夠在印刷前對即要印刷的硅片進行表面粉塵的清掃，達到表面無?異物功能，減少網(wǎng)版擦拭次數(shù)降低成本，提高硅片的電性能。?

附圖說明

通過閱讀參照以下附圖對非限制性實施例所作的詳細描述，本實用新型的其它特征、目的和優(yōu)點將會變得更明顯：?

圖1為本實用新型整體結構示意圖；?

圖中：1為空心銅管，2為直通，3為氣管，4為三通，5為壓縮空氣輸入管，6為節(jié)流閥，7為出氣孔。?

具體實施方式

下面結合具體實施例對本實用新型進行詳細說明。以下實施例將有助于本領域的技術人員進一步理解本實用新型，但不以任何形式限制本實用新型。應當指出的是，對本領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型構思的前提下，還可以做出若干變形和改進。這些都屬于本實用新型的保護范圍。?

本實施例提供了一種用于吹掃硅片表面灰塵的裝置包括空心銅管，所述空心銅管的兩端分別安裝有直通，兩個直通分別連接氣管，兩根氣管的自由端端部共同接入一個三通，所述三通接入壓縮空氣輸入管，所述壓縮空氣輸入管靠近三通處設有一個節(jié)流閥；所述空心銅管上設有若干出氣孔。?

進一步地，所述若干出氣孔排列為兩排，相鄰出氣孔之間的距離為10mm。?

進一步地，所述若干出氣孔呈低幅度鋸齒樣式結構。?

進一步地，所述直通為θ8轉θ6直通；所述氣管為θ6氣管，所述三通為θ6三通，所述節(jié)流閥為θ6節(jié)流閥。?

將本實施例提供的用于吹掃硅片表面灰塵的裝置，固定在印刷機上，從而實現(xiàn)硅片的被印刷面得到風刀的清掃，實現(xiàn)除粉塵效果。?

本實施例能夠在印刷前對即要印刷的硅片進行表面粉塵的清掃，達到表面無異物功能，減少網(wǎng)版擦拭次數(shù)降低成本，提高硅片的電性能。?

以上對本實用新型的具體實施例進行了描述。需要理解的是，本實用新型并不局限于上述特定實施方式，本領域技術人員可以在權利要求的范圍內做出各種變形或修改，這并不影響本實用新型的實質內容。?