[實用新型]用于吹掃硅片表面灰塵的裝置有效
| 申請號： | 201320088551.9 | 申請日： | 2013-02-27 |
| 公開（公告）號： | CN203155625U | 公開（公告）日： | 2013-08-28 |
| 發明（設計）人： | 蔡振華;楊金軍 | 申請（專利權）人： | 上海艾力克新能源有限公司 |
| 主分類號： | B08B5/02 | 分類號： | B08B5/02 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 201401 上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 硅片 表面 灰塵 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于吹掃硅片表面灰塵的裝置，其特征在于，包括空心銅管，所述空心銅管的兩端分別安裝有直通，兩個直通分別連接氣管，兩根氣管的自由端端部共同接入一個三通，所述三通接入壓縮空氣輸入管，所述壓縮空氣輸入管靠近三通處設有一個節流閥；所述空心銅管上設有若干出氣孔。
2.根據權利要求1所述的用于吹掃硅片表面灰塵的裝置，其特征在于，所述出氣孔的數量為多個，多個出氣孔排列為兩排，相鄰出氣孔之間的距離為10mm。
3.根據權利要求2所述的用于吹掃硅片表面灰塵的裝置，其特征在于，所述出氣孔呈低幅度鋸齒樣式結構。
4.根據權利要求1至3中任一項所述的用于吹掃硅片表面灰塵的裝置，其特征在于，所述直通為θ8轉θ6直通；所述氣管為θ6氣管，所述三通為θ6三通，所述節流閥為θ6節流閥。
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