[實(shí)用新型]一種硅片精洗裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320088524.1
• 申請日: 2013-02-27
• 公開（公告）號: CN203155612U
• 公開（公告）日: 2013-08-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 沈翼翔
• 申請（專利權(quán)）人: 上海艾力克新能源有限公司
• 主分類號: B08B3/08
• 分類號: B08B3/08;B08B3/12
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種清洗設(shè)備，具體地，涉及一種硅片精洗裝置。

背景技術(shù)

原始的硅片清洗設(shè)備只能去除硅片切割過程中殘留的切割砂漿，硅片表面的殘留金屬離子只能在電池片生產(chǎn)環(huán)節(jié)中去除，增加了生產(chǎn)的環(huán)節(jié)，降低了生產(chǎn)效率，對后續(xù)生產(chǎn)帶來了不便。

實(shí)用新型內(nèi)容

針對現(xiàn)有技術(shù)中的缺陷，本實(shí)用新型的目的是提供一種硅片精洗裝置。

本實(shí)用新型涉及一種硅片精洗裝置，所述裝置包括上料部件、傳送部件、清洗部件、卸料部件，所述上料部件通過清洗部件與卸料部件連接，所述傳送部件設(shè)置在上料部件上。

優(yōu)選的，所述上料部件為上料臺，存放預(yù)清洗處理的硅片。

優(yōu)選的，所述傳送部件為機(jī)械臂，用機(jī)械臂將預(yù)處理的硅片傳送到上述上料臺，減少了勞動力，提高了生產(chǎn)效率。

優(yōu)選的，所述清洗部件包括酸液鼓泡槽和超聲漂洗槽，其中酸液鼓泡槽清洗硅片表面附著物及金屬離子，同時(shí)使得清洗藥劑更均勻，使得金屬離子清洗地更徹底；超聲漂洗槽清洗硅片表面的殘留液，使得硅片清洗的更徹底。

優(yōu)選的，所述卸料部件為卸料臺。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有如下的有益效果：

(1)本實(shí)用新型一種硅片精洗裝置，硅片經(jīng)上料部件、傳送部件、清洗部件、卸料部件的清洗后，硅片表面的金屬離子已經(jīng)基本去除，大大提高了后續(xù)的工作效率；

(2)本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單，成本低，效果明顯，有較好的應(yīng)用前景。

附圖說明

通過閱讀參照以下附圖對非限制性實(shí)施例所作的詳細(xì)描述，本發(fā)明的其它特征、目的和優(yōu)點(diǎn)將會變得更明顯：

圖1為本實(shí)用新型主視圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合具體實(shí)施例對本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說明。以下實(shí)施例將有助于本領(lǐng)域的技術(shù)人員進(jìn)一步理解本實(shí)用新型，但不以任何形式限制本實(shí)用新型。應(yīng)當(dāng)指出的是，對本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實(shí)用新型構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)。這些都屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。

下面結(jié)合附圖與具體實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明：如圖1所示，

本實(shí)用新型涉及一種硅片精洗裝置，所述裝置包括上料部件1、傳送部件2、清洗部件、卸料部件6，所述上料部件1通過清洗部件與卸料部件6連接，所述傳送部2件設(shè)置在上料部件1上。

進(jìn)一步地，所述上料部件1為上料臺，存放預(yù)清洗處理的硅片。

進(jìn)一步地，所述傳送部件2為機(jī)械臂，用機(jī)械臂將預(yù)處理的硅片傳送到上述上料臺，減少了勞動力，提高了生產(chǎn)效率。

進(jìn)一步地，所述清洗部件包括酸液鼓泡槽3和超聲漂洗槽4，其中酸液鼓泡槽4清洗硅片表面附著物及金屬離子，同時(shí)使得清洗藥劑更均勻，使得金屬離子清洗地更徹底；超聲漂洗槽清洗硅片表面的殘留液，使得硅片清洗的更徹底。

進(jìn)一步地，所述卸料部件6為卸料臺。

更進(jìn)一步地，本實(shí)用新型的工作原理為：首先，將預(yù)處理的硅片放入傳送部件2上，開動開關(guān)，將預(yù)處理的硅片傳送到上料部件1上，然后硅片依次經(jīng)酸液鼓泡槽3、超聲漂洗槽4和超聲漂洗槽5清洗，最后硅片表面上的金屬離子及附著物基本去除，最后將清洗后的硅片通過卸料部件6出料。

綜上所述，本實(shí)用新型的一種硅片精洗裝置，使得硅片表面的金屬離子已經(jīng)基本去除，大大提高了后續(xù)的工作效率；本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單，成本低，效果明顯，有較好的應(yīng)用前景。

以上對本實(shí)用新型的具體實(shí)施例進(jìn)行了描述。需要理解的是，本實(shí)用新型并不局限于上述特定實(shí)施方式，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在權(quán)利要求的范圍內(nèi)做出各種變形或修改，這并不影響本實(shí)用新型的實(shí)質(zhì)內(nèi)容。