[實用新型]一種硅片精洗裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201320088524.1 | 申請日： | 2013-02-27 |
| 公開（公告）號： | CN203155612U | 公開（公告）日： | 2013-08-28 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 沈翼翔 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海艾力克新能源有限公司 |
| 主分類號： | B08B3/08 | 分類號： | B08B3/08;B08B3/12 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 201401 上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 硅片 裝置 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種硅片精洗裝置，其特征在于，所述裝置包括上料部件、傳送部件、清洗部件、卸料部件，所述上料部件通過清洗部件與卸料部件連接，所述傳送部件設(shè)置在上料部件上。?
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片精洗裝置，其特征在于，所述上料部件為上料臺。?
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片精洗裝置，其特征在于，所述傳送部件為機械臂。?
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片精洗裝置，其特征在于，所述清洗部件包括酸液鼓泡槽和超聲漂洗槽。?
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片精洗裝置，其特征在于，所述卸料部件為卸料臺。?
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