[實用新型]一種單晶爐氣體供給系統

有效

• 申請號: 201320074396.5
• 申請日: 2013-02-17
• 公開（公告）號: CN203080105U
• 公開（公告）日: 2013-07-24
• 發明（設計）人: 白劍銘;孫二凱
• 申請（專利權）人: 英利能源（中國）有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B29/06
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 魏曉波

技術領域

本實用新型涉及太陽能電池制造領域，特別涉及一種單晶爐氣體供給系統。

背景技術

單晶爐是指：在惰性氣體環境中，采用石墨電阻加熱器將硅材料熔化，并采用直拉法生長無位錯單晶的設備。氬氣是一種惰性氣體，單晶爐在運行時，單晶爐內通入氬氣用于保護熱場部件，同時也用于冷卻單晶硅棒。并且，單晶爐內通過壓縮空氣驅動排氣管路上的氣動球閥開啟和關閉，同時也驅動單晶爐內其它氣動球閥的動作。

現有技術中，壓縮空氣管路中的壓縮空氣是由空壓機來提供，當空壓機電源或設備自身出現問題后，就會導致空壓機無法正常工作，這樣就會造成壓縮空氣供給出現異常。當壓縮空氣出現供給異常后，壓縮空氣將無法再驅動單晶爐上相關的氣動球閥動作，導致該氣動球閥將自動關閉，從而影響生產。例如，如果單晶爐排氣管路上的氣動球閥關閉后，爐內的氣體將無法排出，這樣就會造成爐內壓力升高，還會導致排氣堵塞，影響硅棒的成品率，造成生產成本升高。

因此，如何避免單晶爐由于壓縮空氣出現供給異常而令氣動球閥自動關閉，從而影響硅棒成品率，是本領域技術人員亟待解決的技術問題。

實用新型內容

有鑒于此，本實用新型提供了一種單晶爐氣體供給系統，在壓縮空氣出現供給異常時，可以利用氬氣代替壓縮氣體繼續對單晶爐內的氣動球閥進行控制，避免由于氣動球閥自動關閉而影響硅棒成品率。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

一種單晶爐氣體供給系統，包括用于向單晶爐內通入氬氣的氬氣供給管路和用于向所述單晶爐內通入壓縮空氣的空氣供給管路，還包括：

將所述氬氣供給管路和所述空氣供給管路連通的切換管路；

設置于所述切換管路上的第一開關閥；

設置于所述空氣供給管路上的第二開關閥，所述第二開關閥位于所述空氣供給管路的進氣口與所述切換管路與所述空氣供給管路的相接點之間；

用于檢測所述空氣供給管路內部氣壓的壓力表。

優選地，在上述單晶爐氣體供給系統中，所述切換管路上還設置有允許所述氬氣流入所述空氣供給管路的單向閥。

優選地，在上述單晶爐氣體供給系統中，所述切換管路上還設置有第三開關閥，以及設置有第四開關閥的泄壓支路，所述泄壓支路的一端與大氣相通，另一端與所述切換管路相通且位于所述第一開關閥和所述第三開關閥之間。

優選地，在上述單晶爐氣體供給系統中，所述壓力表為電接點壓力表，并且，所述電接點壓力表與控制系統連接，所述控制系統包括由所述電接點壓力表控制開閉的壓力檢測開關與報警器串聯構成的報警控制支路。

優選地，在上述單晶爐氣體供給系統中，所述第一開關閥、所述第二開關閥、所述第三開關閥和所述第四開關閥均為電磁閥，所述控制系統包括用于控制所述第一開關閥和所述第三開關閥打開，并且控制所述第二開關閥和所述第四開關閥關閉的自動切換控制支路，所述自動切換控制支路與所述報警器并聯。

優選地，在上述單晶爐氣體供給系統中，所述自動切換控制支路中串聯有手動切換開關。

優選地，在上述單晶爐氣體供給系統中，所述自動切換控制支路中設置有切換指示燈。

優選地，在上述單晶爐氣體供給系統中，所述自動切換控制支路中，用于控制所述第一開關閥、所述第三開關閥和所述第四開關閥的繼電器為中間繼電器。

優選地，在上述單晶爐氣體供給系統中，所述自動切換控制支路中，用于控制所述第二開關閥的繼電器為延時繼電器。

優選地，在上述單晶爐氣體供給系統中，所述控制系統中設置有用于將所述第一開關閥、所述第二開關閥、所述第三開關閥和所述第四開關閥復位的復位按鈕。

從上述的技術方案可以看出，本實用新型實施例提供的單晶爐氣體供給系統中，在氬氣供給管路和空氣供給管路之間設置有切換管路。壓力表檢測空氣供給管路內氣壓低于一定值，即空氣供給管路內壓縮空氣供給出現異常時，可以關閉空氣供給管路上的第二開關閥，并打開切換管路上的第一開關閥，以接通氬氣供給管路和空氣供給管路，從而，將氬氣供給管路中的氬氣充入空氣供給管路內代替壓縮氣體，繼續驅動單晶爐內的氣動球閥進行動作，從而避免了由于壓縮空氣出現供給異常而導致單晶爐內相關的氣動球閥自動關閉的問題，保證了單晶爐的運行，保證了硅棒成品率。進一步地，待壓縮空氣供給恢復正常后再關閉操作切換管路上的第一開關閥，恢復原始的氣體供給狀態。

附圖說明