[實用新型]一種單晶爐氣體供給系統

有效

• 申請號: 201320074396.5
• 申請日: 2013-02-17
• 公開（公告）號: CN203080105U
• 公開（公告）日: 2013-07-24
• 發明（設計）人: 白劍銘;孫二凱
• 申請（專利權）人: 英利能源（中國）有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B29/06
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 魏曉波

1.一種單晶爐氣體供給系統，包括用于向單晶爐內通入氬氣的氬氣供給管路（1）和用于向所述單晶爐內通入壓縮空氣的空氣供給管路（2），其特征在于，還包括：

將所述氬氣供給管路（1）和所述空氣供給管路（2）連通的切換管路（3）；

設置于所述切換管路（3）上的第一開關閥（32）；

設置于所述空氣供給管路（2）上的第二開關閥（21），所述第二開關閥（21）位于所述切換管路（3）與所述空氣供給管路（2）的相接點和所述空氣供給管路（2）的進氣口之間；

用于檢測所述空氣供給管路（2）內部氣壓的壓力表。

2.根據權利要求1所述的單晶爐氣體供給系統，其特征在于，所述切換管路（3）上還設置有允許所述氬氣流入所述空氣供給管路（2）的單向閥（31）。

3.根據權利要求1所述的單晶爐氣體供給系統，其特征在于，所述切換管路（3）上還設置有第三開關閥（33），以及設置有第四開關閥（41）的泄壓支路（4），所述泄壓支路（4）的一端與大氣相通，另一端與所述切換管路（3）相通且位于所述第一開關閥（32）和所述第三開關閥（33）之間。

4.根據權利要求3所述的單晶爐氣體供給系統，其特征在于，所述壓力表為電接點壓力表（5），并且，所述電接點壓力表（5）與控制系統連接，所述控制系統包括由所述電接點壓力表（5）控制開閉的壓力檢測開關（51）與報警器（55）串聯構成的報警控制支路。

5.根據權利要求4所述的單晶爐氣體供給系統，其特征在于，所述第一開關閥（32）、所述第二開關閥（21）、所述第三開關閥（33）和所述第四開關閥（41）均為電磁閥，所述控制系統包括用于控制所述第一開關閥（32）和所述第三開關閥（33）打開，并且控制所述第二開關閥（21）和所述第四開關閥（41）關閉的自動切換控制支路，所述自動切換控制支路與所述報警器（55）并聯。

6.根據權利要求5所述的單晶爐氣體供給系統，其特征在于，所述自動切換控制支路中串聯有手動切換開關（53）。

7.根據權利要求5或6所述的單晶爐氣體供給系統，其特征在于，所述自動切換控制支路中設置有切換指示燈（56）。

8.根據權利要求5所述的單晶爐氣體供給系統，其特征在于，所述自動切換控制支路中，用于控制所述第一開關閥（32）、所述第三開關閥（33）和所述第四開關閥（41）的繼電器為中間繼電器（58）。

9.根據權利要求5所述的單晶爐氣體供給系統，其特征在于，所述自動切換控制支路中，用于控制所述第二開關閥（21）的繼電器為延時繼電器（57）。

10.根據權利要求5所述的單晶爐氣體供給系統，其特征在于，所述控制系統中設置有用于將所述第一開關閥（32）、所述第二開關閥（21）、所述第三開關閥（33）和所述第四開關閥（41）復位的復位按鈕（54）。