[實用新型]濕硅片分片機

有效

• 申請號: 201320069399.X
• 申請日: 2013-02-06
• 公開（公告）號: CN203071051U
• 公開（公告）日: 2013-07-17
• 發明（設計）人: 洪平
• 申請（專利權）人: 洪平
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L31/18
• 代理公司: 江西省專利事務所 36100
• 代理人: 張文

技術領域

本實用新型涉及光伏和半導體領域的濕硅片互相分離裝置，尤其是涉及一種濕硅片分片機。

背景技術

在光伏硅片生產中有很多的工序，其中就有硅錠經過切割后形成硅片，然后這些硅片要除膠，在除膠之后還要一片一片地分開并插入專用的花籃之中，然后再進行清洗。其中將這些硅片自動地一片一片分開，我們稱之為硅片分片（切片后硅片的分片），又因為在這個過程中，硅片總是在水中加工，所以硅片是濕的（在后面的光伏電池片生產中，硅片是干的，干的硅片的分片已經有很成熟的技術的，我們可稱它為干硅片分片），切片后的濕硅片分片是光伏自動化生產中一個關鍵的元素，也是是光伏行業最重要、最棘手的生產步驟之一，它直接影響到企業的競爭力。

現有的幾種分片方式有：1，人工分片方式；2，在全自動化插片設備中的水流加吸力輸送帶的分片方式；3，超聲波加機械手的分片方式（參見專利：201020542420.X）。

其中：1、人工分片方式――人工分片方式又分為兩種，一種是工人將硅片分開后直接插入花籃內，另一種是工人將硅片分開后放入半自動插片機的導槽中，再由插片機將硅片裝入花籃中。人工分片的缺點是非常明顯的，因為硅片厚度只有?0.2mm左右，很容易碎，所以人工分片的碎片率高，生產過程中質量沒法控制，而且隨著人力成本的提高，生產成本也在不斷提高，人工分片也是一個勞動強度很大的工作。

2、在全自動插片設備中的水流加吸力輸送帶的分片方式――這種方式可降低工人的勞動強度，但目前這種設備有以下幾個缺點：1）價格昂貴，要幾十萬到幾百萬元人民幣；2）調試維修難，許多進口的此類設備在設備廠商的工程師走后就不能運行了；3）碎片率及速度沒有人工插片的好。所以這類設備在國內成功應用的幾乎沒有，很多廠家購買這種設備后，因為種種原因最后將其閑置不用，轉而用人工分片插片。

3、超聲波加機械手的分片方式（參見專利201020542420.X）――這種方式成本低，但因為機械手拾取硅片的時間長，加上需要運行較長的距離（最少要運行1.5張硅片的長度）才能將硅片放下，所以達不到人工插片的速度。

發明內容

本實用新型的目的在于提供一種使用搓片輥將硅片從吸盤上搓出、減少吸盤的運動距離、提高生產效率、保證硅片不會因為與吸盤分離而產生碎片、自動化程度高的濕硅片分片機。

本實用新型的目的是這樣實現的：

一種濕硅片分片機，包括機架，在機架的頂端固定有內裝了X向驅動電路、Z向驅動電路和控制電路的控制盒，在控制盒的前端設有控制面板，在機架的前端下方安裝有門，在機架的底端安裝有帶萬向輪的腳，特征是：后側板將機架內的控制盒下方的上部空間分為前箱體和后箱體，在前箱體內、控制盒的左端和中右端分別安裝了內裝有Z向驅動電機的Z向運動模組和內裝有X向驅動電機的X向運動模組，Z向驅動電機能驅動托板在前箱體內的Z方向上下移動，X向驅動電機能驅動吸盤桿在前箱體內的X方向左右移動，在Z向運動模組的底端安裝有用來承托硅片的托板，在托板的前后兩面分別固定有從前后兩面包夾住托板的前側板和后側板，硅片被Z向運動模組、前側板、后側板、搓片輥支架圍住，只能被托板托著作上下運動，左右前后不能動，吸盤桿的上端安裝在X向運動模組的下面，在吸盤桿的下端安裝有能吸住托板內硅片的吸盤；在機架的中部右端安裝有前后兩邊帶擋板的硅片輸送裝置，在硅片輸送裝置的左端安裝有搓片輥支架，在搓片輥支架上安裝有能順時針旋轉以便將吸盤上的硅片搓離吸盤的搓片輥；在后箱體內安裝有內有水泵的水泵箱，在前側板和后側板上設有若干個分片注水孔，托板、硅片、吸盤下部、前側板下部、后側板下部、Z向運動模組的下部、水泵箱都包在內裝有水的水槽內，并都浸在水槽內的水中；水泵箱內的水泵將水槽中的水通過前側板和后側板上的分片注水孔注入到硅片上。

吸盤的吸片基面為硬面基板，在硬面基板上設有若干個呈均勻排列的吸孔。

在硅片輸送裝置的下面安裝有檢測硅片是否破裂的感應器，感應器通過導線與控制電路連接。

在硅片輸送裝置的前后擋板的內壁安裝有玻璃導條，使硅片輸送裝置的前后擋板不會因時間長而被硅片劃傷。

本實用新型的工作原理：

1、準備放置硅片：開啟電源，按動控制面板上的按鍵，X向驅動電機和Z向驅動電機旋轉，X向驅動電機驅動吸盤桿向右運動到右端，并帶動吸盤向右運動到右端，Z向驅動電機驅動Z向運動模組帶動托板向上運動，托板向上升起到指定位置。

2、放入硅片：操作者將待分的硅片放入托板，Z向驅動電機驅動Z向運動模組將硅片與托板下降到指定位置，X向驅動電機驅動X向運動模組將吸盤移回左端。