[實用新型]濕硅片分片機

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320069399.X
• 申請日: 2013-02-06
• 公開（公告）號: CN203071051U
• 公開（公告）日: 2013-07-17
• 發(fā)明（設計）人: 洪平
• 申請（專利權）人: 洪平
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L31/18
• 代理公司: 江西省專利事務所 36100
• 代理人: 張文

1.一種濕硅片分片機，包括機架，在機架的頂端固定有內裝了X向驅動電路、Z向驅動電路和控制電路的控制盒，在控制盒的前端設有控制面板，在機架的前端下方安裝有門，在機架的底端安裝有帶萬向輪的腳，其特征在于：后側板將機架內的控制盒下方的上部空間分為前箱體和后箱體，在前箱體內、控制盒的左端和中右端分別安裝了內裝有Z向驅動電機的Z向運動模組和內裝有X向驅動電機的X向運動模組，Z向驅動電機能驅動托板在前箱體內的Z方向上下移動，X向驅動電機能驅動吸盤桿在前箱體內的X方向左右移動，在Z向運動模組的底端安裝有用來承托硅片的托板，在托板的前后兩面分別固定有從前后兩面包夾住托板的前側板和后側板，硅片被Z向運動模組、前側板、后側板、搓片輥支架圍住，只能被托板托著作上下運動，左右前后不能動，吸盤桿的上端安裝在X向運動模組的下面，在吸盤桿的下端安裝有能吸住托板內硅片的吸盤；在機架的中部右端安裝有前后兩邊帶擋板的硅片輸送裝置，在硅片輸送裝置的左端安裝有搓片輥支架，在搓片輥支架上安裝有能順時針旋轉以便將吸盤上的硅片搓離吸盤的搓片輥；在后箱體內安裝有內有水泵的水泵箱，在前側板和后側板上設有若干個分片注水孔，托板、硅片、吸盤下部、前側板下部、后側板下部、Z向運動模組的下部、水泵箱都包在內裝有水的水槽內，并都浸在水槽內的水中；水泵箱內的水泵將水槽中的水通過前側板和后側板上的分片注水孔注入到硅片上。

2.根據(jù)權利要求1所述的濕硅片分片機，其特征在于：吸盤的吸片基面為硬面基板，在硬面基板上設有若干個呈均勻排列的吸孔。

3.根據(jù)權利要求1或2所述的濕硅片分片機，其特征在于：在硅片輸送裝置的下面安裝有檢測硅片是否破裂的感應器，感應器通過導線與控制電路連接。

4.根據(jù)權利要求3所述的濕硅片分片機，其特征在于：在硅片輸送裝置的前后擋板的內壁安裝有玻璃導條，使硅片輸送裝置的前后擋板不會因時間長而被硅片劃傷。