[實用新型]光學式瑕疵檢測裝置

有效

• 申請號: 201320068388.X
• 申請日: 2013-02-06
• 公開（公告）號: CN203203941U
• 公開（公告）日: 2013-09-18
• 發明（設計）人: 陳文生;蔡宗霖
• 申請（專利權）人: 聯策科技股份有限公司
• 主分類號: G01N21/89
• 分類號: G01N21/89
• 代理公司: 上海信好專利代理事務所(普通合伙) 31249
• 代理人: 張靜潔;徐雯瓊

1.一種光學式瑕疵檢測裝置，其特征在于，包含：

一工作平臺，運送一待檢測物；

至少一第一影像擷取模塊，擷取所述待檢測物的影像，以產生至少一第一影像信號；

至少一第二影像擷取模塊，其擷取速率對應于所述至少一第一影像擷取模塊，所述至少一第二影像擷取模塊擷取所述待檢測物的影像，以產生至少一第二影像信號；以及

至少一處理模塊，電性連接所述至少一第一影像擷取模塊及所述至少一第二影像擷取模塊，其根據所述至少一第一影像信號、所述至少一第二影像信號或所述至少一第一影像信號及所述至少一第二影像信號，判斷出所述待檢測物的至少一瑕疵特征。

2.如權利要求1所述的光學式瑕疵檢測裝置，其特征在于，所述至少一第一影像擷取模塊產生全彩式的所述至少一第一影像信號，所述至少一第二影像擷取模塊產生灰階式的所述至少一第二影像信號。

3.如權利要求1所述的光學式瑕疵檢測裝置，其特征在于，所述至少一第一影像擷取模塊的影像分辨率低于所述至少一第二影像擷取模塊的影像分辨率。

4.如權利要求2或3所述的光學式瑕疵檢測裝置，其特征在于，所述至少一第一影像擷取模塊及所述至少一第二影像擷取模塊為線型感光組件。

5.如權利要求2或3所述的光學式瑕疵檢測裝置，其特征在于，所述至少一處理模塊更包含一預定樣板，所述至少一處理模塊根據所述預定樣板與所述至少一第一影像信號或所述至少一第二影像信號，判斷出所述待檢測物的所述至少一瑕疵特征。

6.如權利要求5所述的光學式瑕疵檢測裝置，其特征在于，所述至少一處理模塊根據所述預定樣板將所述待檢測物的一表面區分為多個區塊，所述多個區塊分別設定為不同的檢測參數，所述表面為面向所述至少一第一影像擷取模塊或所述至少一第二影像擷取模塊的表面。

7.如權利要求6所述的光學式瑕疵檢測裝置，其特征在于，所述至少一處理模塊根據所述至少一第一影像信號及各所述區塊的所述檢測參數，判斷出所述待檢測物的所述至少一瑕疵特征。

8.如權利要求6所述的光學式瑕疵檢測裝置，其特征在于，所述至少一處理模塊根據所述至少一第二影像信號及各所述區塊的所述檢測參數，判斷出所述待檢測物的所述至少一瑕疵特征。

9.如權利要求2或3所述的光學式瑕疵檢測裝置，其特征在于，先經由所述至少一第一影像擷取模塊根據所述待檢測物產生所述至少一第一影像信號后，再經由所述至少一第二影像擷取模塊根據所述待檢測物產生所述至少一第二影像信號。

10.如權利要求2或3所述的光學式瑕疵檢測裝置，其特征在于，所述至少一第二影像擷取模塊的數量為多個時，所述多個第二影像擷取模塊以并列的方式排列，且其并列方向垂直于所述待檢測物的運送方向。

11.如權利要求2或3所述的光學式瑕疵檢測裝置，其特征在于，所述光學式瑕疵檢測裝置更包含至少一發光單元，供給所述至少一第一影像擷取模塊產生所述至少一第一影像信號或所述至少一第二影像擷取模塊產生所述至少一第二影像信號時所需的光源。