[實用新型]顯微球面光譜分析儀

有效

• 申請號: 201320061866.4
• 申請日: 2013-02-01
• 公開（公告）號: CN203101028U
• 公開（公告）日: 2013-07-31
• 發明（設計）人: 覃亞;肖順東
• 申請（專利權）人: 佛山市北創光電科技有限公司
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 北京商專永信知識產權代理事務所(普通合伙) 11400
• 代理人: 高之波;鄔玥

本實用新型屬于一種光學鏡片檢測儀器，尤其是涉及一種顯微球面光譜分析儀。

目前，市面上光學鏡片光譜檢測儀采用的是一般目鏡，需要操作者用肉眼觀察，且因鏡片為球面，光線進入球面后透過與反射的光方向會不同，光的能量分散，所以在球面上采集光的難度很大，觀察到的鏡片焦點誤差較大，很難聚焦。大多檢測儀檢測到的光學鏡片球差在0.005左右，誤差較大，檢測球面光譜特性時，偏差較大，檢測結果不精確。市面上也有利用平面的檢測結果代表球面光譜特性的，但是差異太大。

本實用新型的目的在于提供一種聚焦方便、快捷，球差小，操作方便的顯微球面光譜分析儀。

根據本實用新型的一個方面，提供了一種顯微球面光譜分析儀，包括光源、與光源連接的光譜分析系統和與光譜分析系統連接的數據處理裝置，光譜分析系統包括與光源連通的光路系統、與光路系統連通的物鏡、與光路系統連通的目鏡、與光路連接的檢測器，目鏡為電子目鏡。數據處理裝置與光譜分析系統相連接，保證了檢測到的結果能夠直接在數據處理裝置中分析和顯示出來，方便操作，提高檢測速度。采用電子目鏡結構，使得由物鏡進入光路的光直接由電子目鏡檢測到，能夠快速聚焦。光路系統與檢測器相連接，從而檢測器可以直接得出檢測結果，同時也減小了球差，將球差減小至0.003。

在一些實施方式中，數據處理裝置為計算機，計算機與電子目鏡和檢測器相連接。從而計算機透過電子目鏡顯示光斑能量及被測物曲線圖形，直接顯示電子目鏡和檢測器所檢測到的光譜結果。

在一些實施方式中，光路系統包括入射光路和反射光路，入射光路和反射光路垂直連接，入射光路和反射光路連接處設有反射鏡，反射光路包括顯微光路和分析光路，分析光路包括目鏡光路和檢測光路，目鏡光路與檢測光路連接處設有分光棱鏡。從而，從入射光路入射的光經過反射鏡的反射進入顯微光路到達物鏡作用于待測光學鏡片上，待測光學鏡片上反射的光通過物鏡再進入作用于反射鏡，然后再經過分光棱鏡進行分光，一部分反射光進入目鏡光路，一部分反射光進入檢測光路。設有光路系統，使得待測光學鏡片在檢測過程中，待測光學鏡片的上表面和下表面所形成的焦點不在同一點，從而排除了下表面反射的光線對檢測結果的干擾，從而得到準確的檢測結果。

在一些實施方式中，光路系統包括入射光路和反射光路，入射光路和反射光路垂直連接，入射光路和反射光路連接處設有反射鏡，反射光路包括顯微光路和分析光路，分析光路包括目鏡光路和檢測光路，目鏡光路與檢測光路連接處設有分光棱鏡。從而，從入射光路入射的光經過反射鏡的反射進入顯微光路到達物鏡作用于待測光學鏡片上，待測光學鏡片上反射的光通過物鏡再進入作用于反射鏡，然后再經過分光棱鏡進行分光，一部分反射光進入目鏡光路，一部分反射光進入檢測光路。設有光路系統，使得待測光學鏡片在檢測過程中，待測光學鏡片的上表面和下表面所形成的焦點不在同一點，從而排除了下表面反射的光線對檢測結果的干擾，從而得到準確的檢測結果。

在一些實施方式中，反射鏡與入射光路成45°夾角。從而使得入射光路的光能夠進入顯微光路，進而進入物鏡。

在一些實施方式中，物鏡與顯微光路相連通，電子目鏡與目鏡光路相連通，檢測器與檢測光路相連通。同時，可以通過計算機調節進入檢測光路和目鏡光路的能量比例，實現精準測量。

在一些實施方式中，光譜分析系統還包括設于物鏡下方的載物臺和與載物臺連接的控制器。設有控制器可以方便地控制載物臺的與物鏡的相對位置。

在一些實施方式中，顯微球面光譜分析儀還包括底座，光譜分析系統設于底座上。從而，保證了光譜分析系統的穩定和平衡。

圖1是本實用新型的顯微球面光譜分析儀的結構示意圖。

下面結合附圖對本實用新型作進一步詳細的說明。

下面結合附圖對本實用新型作進一步詳細的說明。

參照圖1:顯微球面光譜分析儀，包括光源2、與光源2通過光纖連接的光譜分析系統1和與光譜分析系統1通過數據線連接的數據處理裝置3，光譜分析系統1包括與光源2連通的光路系統11、與光路系統11連通的物鏡12、與光路系統11連通的目鏡13、與光路系統11連接的檢測器14，目鏡13為電子目鏡，電子目鏡為廣州柏菲光電科技有限公司生產的，型號為SP—II，像素為500萬。數據處理裝置3為計算機，計算機與電子目鏡和檢測器14相連接，計算機與電子目鏡和檢測器14之間通過數據線相連接。