[實用新型]顯微球面光譜分析儀

有效

• 申請號: 201320061866.4
• 申請日: 2013-02-01
• 公開（公告）號: CN203101028U
• 公開（公告）日: 2013-07-31
• 發明（設計）人: 覃亞;肖順東
• 申請（專利權）人: 佛山市北創光電科技有限公司
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 北京商專永信知識產權代理事務所(普通合伙) 11400
• 代理人: 高之波;鄔玥

顯微球面光譜分析儀，其特征在于，包括光源（2）、與光源（2）連接的光譜分析系統（1）和與光譜分析系統（1）連接的數據處理裝置（3），所述光譜分析系統（1）包括與光源（2）連通的光路系統（11）、與光路系統（11）連通的物鏡（12）、與光路系統（11）連通的目鏡（13）、與光路系統（11）連接的檢測器（14），所述目鏡（13）為電子目鏡。

根據權利要求1所述的顯微球面光譜分析儀，其特征在于，所述數據處理裝置（3）為計算機，所述計算機與電子目鏡和檢測器（14）相連接。

根據權利要求2所述的顯微球面光譜分析儀，其特征在于，所述光路系統（11）包括入射光路（111）和反射光路（112），所述入射光路（111）和反射光路（112）垂直連接，所述入射光路（111）和反射光路（112）連接處設有反射鏡（17），所述反射光路（112）包括顯微光路（21）和分析光路（22），所述分析光路（22）包括目鏡光路（221）和檢測光路（222），所述目鏡光路（221）與檢測光路（222）連接處設有分光棱鏡（18）。

根據權利要求3所述的顯微球面光譜分析儀，其特征在于，所述反射鏡（17）與入射光路（111）成45°夾角。

根據權利要求3所述的顯微球面光譜分析儀，其特征在于，所述物鏡（12）與顯微光路（21）相連通，所述電子目鏡與目鏡光路（221）相連通，所述檢測器（14）與檢測光路（223）相連通。

根據權利要求5所述的顯微球面光譜分析儀，其特征在于，所述光譜分析系統（1）還包括設于物鏡（12）下方的載物臺（15）和與載物臺（15）連接的控制器（16）。

根據權利要求1—6中任一項所述的顯微球面光譜分析儀，其特征在于，還包括底座（4），所述光譜分析系統（1）設于底座（4）上。