[實(shí)用新型]研磨清洗槽

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320061816.6
• 申請(qǐng)日: 2013-02-01
• 公開（公告）號(hào): CN203124336U
• 公開（公告）日: 2013-08-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馮惠敏
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號(hào): B08B3/10
• 分類號(hào): B08B3/10
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時(shí)云

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及化學(xué)機(jī)械研磨技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種研磨清洗槽。

背景技術(shù)

化學(xué)機(jī)械研磨(chemical?mechanical?polishing)技術(shù)兼有機(jī)械式研磨和化學(xué)式研磨的兩種作用，普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓的制造中。在化學(xué)機(jī)械研磨(chemical?mechanical?polishing)工藝中，晶圓研磨后一般需要置于如下所述的研磨清洗槽內(nèi)進(jìn)行清洗，研磨清洗槽的結(jié)構(gòu)請(qǐng)參考圖1，如圖1所示，研磨清洗槽100包括槽壁101、滑輪102和滾輪103，滑輪102設(shè)置于槽壁101的外部，滾輪103設(shè)置于槽壁101的內(nèi)部。為固定滾輪103的位置，滾輪103的外部設(shè)置有滾輪外套111。同時(shí)，滾輪外套111和槽壁主體110組合形成槽壁101。為使槽壁101密封，槽壁主體110和滾輪外套111通過密封圈112連接。其中，滾輪103包括依次連接的晶圓支架104、連桿105和滾輪本體106，滾輪本體106由磁鐵制成，其形狀為圓柱體?；?02包括齒輪107、磁鐵塊108和金屬體109，齒輪107和金屬體109的底面連接，齒輪107的中心設(shè)置有一磁鐵塊108，磁鐵塊108的磁性與滾輪滾輪本體106的磁性相反。

進(jìn)行清洗時(shí)，研磨清洗槽100內(nèi)裝滿研磨清洗液，晶圓固定在滾輪103上，電機(jī)驅(qū)動(dòng)滑輪102轉(zhuǎn)動(dòng)，同時(shí)滑輪102通過磁耦合驅(qū)動(dòng)滾輪103轉(zhuǎn)動(dòng)，從而帶動(dòng)晶圓在研磨清洗槽100中進(jìn)行清洗。然而，研磨清洗槽100內(nèi)的研磨清洗液是由氨水和雙氧水兩種液體按一定比例混合而成，具有很強(qiáng)的腐蝕性，槽壁102中的密封圈112長期與研磨清洗液接觸，會(huì)被研磨清洗液腐蝕，腐蝕后的密封圈112會(huì)污染研磨清洗液。將晶圓置于受污染的研磨清洗液中清洗時(shí)，晶圓會(huì)被污染，嚴(yán)重時(shí)甚至導(dǎo)致產(chǎn)品報(bào)廢。

基此，如何防止研磨清洗槽中的密封圈被腐蝕污染研磨清洗液，甚至污染晶圓導(dǎo)致產(chǎn)品報(bào)廢成為本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的一個(gè)技術(shù)問題。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種研磨清洗槽以解決現(xiàn)有技術(shù)中清洗槽中的密封圈腐蝕后污染研磨清洗液，進(jìn)而污染晶圓造成產(chǎn)品報(bào)廢的問題。

為解決上述問題，本實(shí)用新型提供一種研磨清洗槽，包括槽壁、滑輪和滾輪；

其中，所述槽壁的一側(cè)面上設(shè)置有第一圓柱體和第二圓柱體，所述第一圓柱體設(shè)置于槽壁的內(nèi)側(cè)，所述第二圓柱體設(shè)置于槽壁的外側(cè)；

所述滾輪套在第一圓柱體上；

所述滑輪設(shè)置于第二圓柱體的外部；

所述滑輪通過磁耦合驅(qū)動(dòng)所述滾輪轉(zhuǎn)動(dòng)。

優(yōu)選的，在所述的研磨清洗槽中，所述滾輪包括晶圓支架、連桿和滾輪本體；

所述晶圓支架和滾輪本體通過連桿連接。

優(yōu)選的，在所述的研磨清洗槽中，所述滾輪本體的形狀為圓桶形，滾輪本體的底面與連桿連接；

所述滾輪本體套在所述第一圓柱體上。

優(yōu)選的，在所述的研磨清洗槽中，所述滾輪本體由磁鐵制成。

優(yōu)選的，在所述的研磨清洗槽中，所述滑輪包括齒輪組、磁鐵塊和金屬套；

所述金屬套的形狀是圓桶形，金屬套的底面與所述齒輪組連接；

所述磁鐵塊設(shè)置于金屬套的內(nèi)部。

優(yōu)選的，在所述的研磨清洗槽中，所述磁鐵塊的磁性與所述滾輪本體的磁性相反。

優(yōu)選的，在所述的研磨清洗槽中，所述金屬套由導(dǎo)磁體制成。

優(yōu)選的，在所述的研磨清洗槽中，所述滑輪和滾輪均為對(duì)稱性結(jié)構(gòu)，中心軸在同一條直線上。

優(yōu)選的，在所述的研磨清洗槽中，還包括一金屬塊；

所述金屬塊設(shè)置在所述滑輪和槽壁之間，套在所述第二圓柱體上；

所述金屬塊由導(dǎo)磁體制成。

優(yōu)選的，在所述的研磨清洗槽中，還包括研磨清洗液出口和入口；

所述研磨清洗液出口和入口設(shè)置于所述槽壁上，研磨清洗液的入口比研磨清洗液的出口要高。

綜上所述，本實(shí)用新型提供的研磨清洗槽通過磁耦合驅(qū)動(dòng)研磨清洗槽內(nèi)的滾輪轉(zhuǎn)動(dòng)清洗晶圓，槽壁無需密封圈連接，研磨清洗槽的結(jié)構(gòu)能夠保證不污染清洗液，更不會(huì)污染晶圓造成產(chǎn)品報(bào)廢。

附圖說明

圖1是現(xiàn)有技術(shù)中研磨清洗槽的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例的一種研磨清洗槽的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型提出一種研磨清洗槽作進(jìn)一步詳細(xì)說明。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。