[實用新型]研磨清洗槽

有效

• 申請號: 201320061816.6
• 申請日: 2013-02-01
• 公開（公告）號: CN203124336U
• 公開（公告）日: 2013-08-14
• 發明（設計）人: 馮惠敏
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: B08B3/10
• 分類號: B08B3/10
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種研磨清洗槽，其特征在于，包括：槽壁、滑輪和滾輪；

其中，所述槽壁的一側面上設置有第一圓柱體和第二圓柱體，所述第一圓柱體設置于槽壁的內側，所述第二圓柱體設置于槽壁的外側；

所述滾輪套在第一圓柱體上；

所述滑輪設置于第二圓柱體的外部；

所述滑輪通過磁耦合驅動所述滾輪轉動。

2.如權利要求1所述的研磨清洗槽，其特征在于，所述滾輪包括晶圓支架、連桿和滾輪本體；

所述晶圓支架和滾輪本體通過連桿連接。

3.如權利要求2所述的研磨清洗槽，其特征在于，所述滾輪本體的形狀為圓桶形，滾輪本體的底面與連桿連接；

所述滾輪本體套在所述第一圓柱體上。

4.如權利要求2所述的研磨清洗槽，其特征在于，所述滾輪本體由磁鐵制成。

5.如權利要求1所述的研磨清洗槽，其特征在于，所述滑輪包括齒輪組、磁鐵塊和金屬套；

所述金屬套的形狀是圓桶形，金屬套的底面與所述齒輪組連接；

所述磁鐵塊設置于金屬套的內部。

6.如權利要求5所述的研磨清洗槽，其特征在于，所述磁鐵塊的磁性與所述滾輪本體的磁性相反。

7.如權利要求5所述的研磨清洗槽，其特征在于，所述金屬套由導磁體制成。

8.如權利要求1所述的研磨清洗槽，其特征在于，所述滑輪和滾輪均為對稱性結構，中心軸在同一條直線上。

9.如權利要求1所述的研磨清洗槽，其特征在于，還包括一金屬塊；

所述金屬塊設置在所述滑輪和槽壁之間，套在所述第二圓柱體上；

所述金屬塊由導磁體制成。

10.如權利要求1所述的研磨清洗槽，其特征在于，還包括研磨清洗液出口和入口；

所述研磨清洗液出口和入口設置于所述槽壁上，研磨清洗液的入口比研磨清洗液的出口要高。