[實(shí)用新型]一種磁控濺射用磁場(chǎng)源裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320044870.X
• 申請(qǐng)日: 2013-01-28
• 公開（公告）號(hào): CN203144509U
• 公開（公告）日: 2013-08-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 郭會(huì)斌;劉曉偉;孫亮;王守坤;朱夏明
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司;北京京東方顯示技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/35
• 分類號(hào): C23C14/35
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 羅建民;鄧伯英

1.一種磁控濺射用磁場(chǎng)源裝置，其特征在于，所述的磁控濺射用磁場(chǎng)源裝置包括至少兩個(gè)電磁鐵，各個(gè)所述的電磁鐵分別連接供電單元，所述的供電單元連接用于獨(dú)立控制供電單元向各電磁鐵的輸出電流的控制單元。

2.如權(quán)利要求1所述的磁控濺射用磁場(chǎng)源裝置，其特征在于，所述的供電單元為多輸出電源，所述多輸出電源的輸出端數(shù)量大于或者等于所述電磁鐵的數(shù)量；多個(gè)所述電磁鐵分別與所述多輸出電源中的多個(gè)輸出相連，且所述多輸出電源的每一個(gè)輸出僅與一個(gè)電磁鐵相連。

3.如權(quán)利要求1所述的磁控濺射用磁場(chǎng)源裝置，其特征在于，所述的供電單元為多個(gè)獨(dú)立電源，多個(gè)所述電磁鐵分別與多個(gè)獨(dú)立電源相連，且一個(gè)獨(dú)立電源僅與一個(gè)電磁鐵相連。

4.如權(quán)利要求1-3任一所述的磁控濺射用磁場(chǎng)源裝置，其特征在于，所述的電磁鐵至少有三個(gè)，且所述的電磁鐵排列在同一平面中。

5.如權(quán)利要求4所述的磁控濺射用磁場(chǎng)源裝置，其特征在于，所述的電磁鐵至少有四個(gè)，且所述的電磁鐵排列成電磁鐵陣列。

6.如權(quán)利要求5所述的磁控濺射用磁場(chǎng)源裝置，其特征在于，所述的電磁鐵陣列的排列形狀為矩形、菱形中的一種。