[實用新型]一種新型雙層結構的石英舟有效

申請號：	201320043298.5	申請日：	2013-01-28
公開（公告）號：	CN203013698U	公開（公告）日：	2013-06-19
發明（設計）人：	朱良新	申請（專利權）人：	浙江波力勝新能源科技有限公司
主分類號：	H01L21/673	分類號：	H01L21/673;H01L31/18
代理公司：	杭州斯可睿專利事務所有限公司 33241	代理人：	周涌賀
地址：	323000 浙***	國省代碼：	浙江;33
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種新型雙層結構石英
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【權利要求書】：

1.?一種新型雙層結構的石英舟，包括卡槽棒（1）和支撐卡槽棒（1）的支撐架（2），所述卡槽棒（1）上設有固定硅片的卡槽（3），其特征是：所述支撐架（2）為上下兩層結構，各個支撐架（2）均設有底部卡槽棒（1-1）和側邊卡槽棒（1-2），所述底部卡槽棒（1-1）和側邊卡槽棒（1-2）上的卡槽（3）為相對應的傾斜結構。

2.?根據權利要求1所述的新型雙層結構的石英舟，其特征是：所述卡槽（3）傾斜角度為20°～40°。

3.根據權利要求1所述的新型雙層結構的石英舟，其特征是：所述支撐架（2）包括上支撐架（2-1）和下支撐架（2-2），位于上支撐架（2-1）上的卡槽棒（1）長于位于下支撐架（2-2）的卡槽棒（1）。

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