[實用新型]一種新型雙層結構的石英舟有效
| 申請號: | 201320043298.5 | 申請日: | 2013-01-28 |
| 公開(公告)號: | CN203013698U | 公開(公告)日: | 2013-06-19 |
| 發明(設計)人: | 朱良新 | 申請(專利權)人: | 浙江波力勝新能源科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/673 | 分類號: | H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司: | 杭州斯可睿專利事務所有限公司 33241 | 代理人: | 周涌賀 |
| 地址: | 323000 浙*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 新型 雙層 結構 石英 | ||
技術領域
本實用新型涉及一種用于太陽能電池生產的石英舟載具,特別是涉及太陽能電池生產中氧化擴散工藝用的新型雙層結構的石英舟。
背景技術
目前,太陽能電池是一種現今大規模使用的清潔能源。在太陽能電池的制造生產過程中,提高太陽能的轉換效率,增加單體時間內的產能,及降低制造成本是該領域內的重點。
由于現有技術中的石英舟,其支撐架上的硅片均是豎直放置,受硅片的大小的限制,如果是擺放兩層硅片的支撐架,則會導致上層硅片的擺放高度過高,因此目前的石英舟只能擺放一層硅片。
實用新型內容
本實用新型要解決上述現有技術的缺點,提供一種新型雙層結構的石英舟,可擺放兩層硅片,增大了硅片的放置空間。
本實用新型解決其技術問題采用的技術方案:這種新型雙層結構的石英舟,包括卡槽棒和支撐卡槽棒的支撐架,其中卡槽棒上設有固定硅片的卡槽,支撐架為上下兩層結構,各個支撐架均設有底部卡槽棒和側邊卡槽棒,其中底部卡槽棒和側邊卡槽棒上的卡槽為相對應的傾斜結構。這樣將卡槽設計成傾斜結構,降低了硅片的擺放高度,因此可將石英舟設計成兩層結構,增加了硅片的擺放數量,更有效地利用空間。
其中卡槽傾斜角度為20°~40°。在這個角度范圍內的傾斜角度,特別是30°,硅片的擺放高度為豎直擺放的二分之一,即時將石英舟設計兩層結構,與硅片豎直擺放的一層結構的高度相差不多。
其中支撐架包括上支撐架和下支撐架,位于上支撐架上的卡槽棒長于位于下支撐架的卡槽棒。這樣兩支撐架的結構獨立,擺放下層硅片時可以將上支撐架移開,而且上支撐架較長,兩層疊加在一起時,上支撐架位于下支撐架的外端方向。
本實用新型有益的效果是:本實用新型結構設計新穎,將石英舟設計呈兩層結構,增加了硅片的擺放數量,從而提升了石英舟的使用空間,有利于廣泛使用。
附圖說明
圖1為本實用新型的左視圖;
圖2為本實用新型的主視圖;
圖3為本實用新型的俯視圖。
附圖標記說明:卡槽棒1,底部卡槽棒1-1,側邊卡槽棒1-2,支撐架2,上支撐架2-1,下支撐架2-2,卡槽3。
具體實施方式
下面結合附圖對本實用新型作進一步說明:
參照附圖:這種新型雙層結構的石英舟,包括卡槽棒1和支撐卡槽棒1的支撐架2,其中卡槽棒1上設有固定硅片的卡槽3,其特征是:其中支撐架2為上下兩層結構,各個支撐架2均設有底部卡槽棒1-1和側邊卡槽棒1-2,其中底部卡槽棒1-1和側邊卡槽棒1-2上的卡槽3為相對應的傾斜結構。其中卡槽3傾斜角度為20°~40°。所述支撐架2包括上支撐架2-1和下支撐架2-2,位于上支撐架2-1上的卡槽棒1長于位于下支撐架2-2的卡槽棒1。本實用新型結構設計新穎,將石英舟設計呈兩層結構,增加了硅片的擺放數量,從而提升了石英舟的使用空間,有利于廣泛使用。
雖然本實用新型已通過參考優選的實施例進行了圖示和描述,但是,本專業普通技術人員應當了解,在權利要求書的范圍內,可作形式和細節上的各種各樣變化。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





