[實用新型]調焦調平測量系統中鏡片軸向調整裝置有效

申請號：	201320043178.5	申請日：	2013-01-25
公開（公告）號：	CN203069860U	公開（公告）日：	2013-07-17
發明（設計）人：	吳樹福;章富平;陳飛彪;王海江;程海林;唐平玉	申請（專利權）人：	上海微電子裝備有限公司
主分類號：	G02B7/02	分類號：	G02B7/02;G03F7/20
代理公司：	上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237	代理人：	屈蘅;李時云
地址：	201203 上***	國省代碼：	上海;31
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摘要：
搜索關鍵詞：	調焦測量系統鏡片軸向調整裝置
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【說明書】：

技術領域

本實用新型涉及調焦調平測量系統，具體涉及調焦調平測量系統中鏡片軸向調整裝置。?

背景技術

在投影光刻系統中對調焦調平測量系統要求越來越高，在調焦調平測量系統中鏡頭組發揮著重要作用，控制好鏡頭組的位置，對成像質量上起著決定性作用。?

現有技術中實現鏡片調整裝置主要包括以下方式：?

方式一，如圖1所示，壓電元件組成的致動器100驅動柔性四桿機構101，四桿機構101將致動器100水平向的位移dL轉換成可動透鏡102的軸向位移dH，柔性連桿機構機構復雜，加工制造難度，安裝也有較大困難。雖然精度理想但壓電元件價格昂貴，成本過高，安裝空間大。?

方式二，如圖2所示，采用并列的二個線形滑軌103作導向，伺服電機通過凸輪機構104驅動可動透鏡102上下運動。然而凸輪加工難度大，不能實現自鎖，且線形滑軌滑塊與導軌之間存在一定的間隙，機構精度不高，安裝空間大。?

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是現有鏡片軸向調整裝置安裝空間過大，結構復雜，為了克服以上不足，提供了一種調焦調平測量系統中鏡片軸向調整裝置。?

為了解決上述技術問題，本實用新型的技術方案是：所述鏡片軸向調整裝置包括支撐筒、設置在支撐筒端面的光闌、設置在支撐筒內的至少一個鏡筒組、設置在支撐筒側壁控制和鎖定鏡筒組軸向運動的調整機構和用于徑向固定鏡筒組的支撐塊，所述支撐塊設置在支撐筒內，鏡筒組嵌在支撐塊內并可在其中進行軸向滑動。?

進一步，所述支撐塊為圓柱型，其包括柱體和沿柱體圓周分布上下貫通的軸向滑道，所述軸向滑道與調整機構和鏡筒組在支撐筒內的部分相配合，控制鏡筒組沿軸向滑動。?

進一步，支撐塊還包括用于連接光闌的上銷孔和用于連接支撐筒的下銷孔。?

進一步，所述鏡筒組包括沿軸向上下對應設置的至少一個小鏡筒，一個小鏡筒通過一個獨立的調整機構控制。因此，鏡筒組中的每個小鏡筒相互獨立，可以分別對其進行軸向調節，調節的范圍更大且更加靈活。?

進一步，小鏡筒包括圓柱型鏡座、鏡片和壓圈，所述鏡座中間開有通光孔并帶有臺階，鏡片放在臺階上，壓圈壓在鏡片上。?

進一步，所述調整機構包括沿軸向從上到下固定在支撐筒外側壁的上固定塊和下固定塊、連接上固定塊和下固定塊之間的導向柱、穿過導向柱可在上固定塊和下固定塊之間移動的活動塊、連接上固定塊和活動塊的彈簧、設置在下固定塊上的微分頭以及與活動塊聯動的連接桿，微分頭的頂端與活動塊接觸，連接桿的一端與小鏡筒固定連接，另一端從活動塊伸出。通過微分頭旋入或旋出下固定塊，活動塊在微分頭和彈簧的共同作用力下靠近或遠離上固定塊，進一步，通過與活動塊聯動的連接桿帶動小鏡筒做軸向向上或向下運動。?

進一步，所述調整機構還包括與連接桿聯動的內固定塊，所述內固定塊設置在支撐筒的內壁且與活動塊內外對應，用于輔助活動塊和連接桿帶動小鏡筒做軸向運動。?

進一步，所述軸向滑道包括與內固定塊相配合的方槽、與連接桿相配合的薄層槽和與鏡筒組相配合的通孔。?

進一步，所述調整機構還包括鎖緊螺母，所述鎖緊螺母與連接桿伸出活動塊的一端通過螺紋連接，松開鎖緊螺母連接，活動塊可在上固定塊與下固定塊之間滑動，旋緊鎖緊螺母則對活動塊進行軸向固定。?

本實用新型的技術方案中小鏡筒相互獨立，可分別進行調整補償光學系統的裝調誤差；整個調整裝置結構緊湊，可在較小空間內進行調整；調整精度高，重復性好；裝置的結構簡單、安裝方便且成本合理。?

附圖說明

圖1是現有技術中方式一的結構示意圖；?

圖2是現有技術中方式二的結構示意圖；?

圖3是本實用新型立體結構示意圖；?

圖4是本實用新型仰視圖；?

圖5是小鏡筒的剖視圖；?

圖6是圖4的A-A向剖視圖；?

圖7是支撐塊的立體結構示意圖。?