[實用新型]調焦調平測量系統中鏡片軸向調整裝置有效
| 申請號: | 201320043178.5 | 申請日: | 2013-01-25 |
| 公開(公告)號: | CN203069860U | 公開(公告)日: | 2013-07-17 |
| 發明(設計)人: | 吳樹福;章富平;陳飛彪;王海江;程海林;唐平玉 | 申請(專利權)人: | 上海微電子裝備有限公司 |
| 主分類號: | G02B7/02 | 分類號: | G02B7/02;G03F7/20 |
| 代理公司: | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李時云 |
| 地址: | 201203 上*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 調焦 測量 系統 鏡片 軸向 調整 裝置 | ||
1.一種鏡片軸向調整裝置,其特征在于,包括支撐筒、設置在支撐筒端面的光闌、設置在支撐筒內的至少一個鏡筒組、設置在支撐筒側壁控制和鎖定鏡筒組軸向運動的調整機構和用于徑向固定鏡筒組的支撐塊,所述支撐塊設置在支撐筒內,鏡筒組嵌在支撐塊內并可在其中進行軸向滑動。?
2.根據權利要求1所述一種鏡片軸向調整裝置,其特征在于,所述支撐塊為圓柱型,其包括柱體和沿柱體圓周分布上下貫通的軸向滑道,所述軸向滑道與調整機構和鏡筒組在支撐筒內的部分相配合。?
3.根據權利要求2所述一種鏡片軸向調整裝置,其特征在于,所述支撐塊還包括用于連接光闌的上銷孔和用于連接支撐筒的下銷孔。?
4.根據權利要求1所述一種鏡片軸向調整裝置,其特征在于,所述鏡筒組包括沿軸向上下對應設置的至少一個小鏡筒,一個小鏡筒通過一個獨立的調整機構控制。?
5.根據權利要求4所述一種鏡片軸向調整裝置,其特征在于,所述小鏡筒包括圓柱型鏡座、鏡片和壓圈,所述鏡座中間開有通光孔并帶有臺階,鏡片放在臺階上,壓圈壓在鏡片上。?
6.根據權利要求1所述一種鏡片軸向調整裝置,其特征在于,所述調整機構包括沿軸向從上到下固定在支撐筒外側壁的上固定塊和下固定塊、連接上固定塊和下固定塊之間的導向柱、穿過導向柱可在上固定塊和下固定塊之間移動的活動塊、連接上固定塊和活動塊的彈簧、設置在下固定塊上的微分頭以及與活動塊聯動的連接桿,微分頭的頂端與活動塊接觸,連接桿的一端與小鏡筒固定連接,另一端從活動塊伸出。?
7.根據權利要求6所述一種鏡片軸向調整裝置,其特征在于,所述調整機構還包括與連接桿聯動的內固定塊,所述內固定塊設置在支撐筒的內壁且與活?動塊內外對應。?
8.根據權利要求7所述一種鏡片軸向調整裝置,其特征在于,所述支撐塊為圓柱型,其包括柱體和沿柱體圓周分布上下貫通的軸向滑道,所述軸向滑道包括與內固定塊相配合的方槽、與連接桿相配合的薄層槽和與鏡筒組相配合的通孔。?
9.根據權利要求6所述一種鏡片軸向調整裝置,其特征在于,所述調整機構還包括鎖緊螺母,所述鎖緊螺母與連接桿伸出活動塊的一端通過螺紋連接。?
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