[實用新型]一種啞鈴式柔性材料磁控濺射鍍膜設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320041554.7
• 申請日: 2013-01-25
• 公開（公告）號: CN203021646U
• 公開（公告）日: 2013-06-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 郭愛云;黃國興;孫桂紅;祝海生;梁紅;黃樂
• 申請（專利權(quán)）人: 湘潭宏大真空技術(shù)股份有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 湘潭市匯智專利事務(wù)所 43108
• 代理人: 顏昌偉

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種磁控濺射鍍膜設(shè)備，特別涉及一種啞鈴式柔性材料磁控濺射鍍膜設(shè)備。

技術(shù)背景

高分子薄膜材料、柔性泡沫材料和柔性金屬薄膜材料是真空鍍膜常見的柔性基材，大量用在泡沫電極、柔性顯示、柔性觸摸屏、柔性線路板、裝飾、電磁屏蔽和防靜電等領(lǐng)域。這些柔性材料的鍍膜種類繁多，例如在有機泡沫上沉積金屬Ni導電膜，使得沉積層形成多空泡沫Ni金屬；再有在紡織品、無紡布材料上沉積金屬膜形成金屬柔性卷材用做電磁屏蔽和防靜電材料；還有在透明柔性的聚酯（PET）鍍ITO透明導電膜、柔性聚丙烯（BOPP）、柔性聚酯（PET）膜上沉積金屬導電膜和聚酰亞胺膜上沉積金屬導電膜等柔性基材鍍膜。

近年來，由于鍍膜技術(shù)的快速發(fā)展，在柔性鍍膜領(lǐng)域也出現(xiàn)了多種鍍膜設(shè)備。申請?zhí)枮?00810045199.4的實用新型專利提供了一種卷繞鍍膜機，包括至少一個真空鍍膜室，置于鍍膜真空室外的卷材機構(gòu)和收卷機構(gòu)，其特征是在鍍膜真空室與卷材放卷機構(gòu)和收卷機構(gòu)之間至少一個帶材進出通道的真空通道，真空通道由窄縫阻尼通道和真空抽氣室組成的真空鎖構(gòu)成。但是這種結(jié)構(gòu)的方式存在臥式鍍膜的通病，沒有辦法解決陰極灰塵掉落的問題，產(chǎn)品質(zhì)量無法達到最好。專利申請?zhí)枮?3273145.0的實用新型專利提供了一種柔性材料正方兩面連續(xù)進行噴鍍的多功能卷繞鍍膜機，它是一種呈“拱形門”結(jié)構(gòu)的真空腔體，在箱體的下部設(shè)有收卷室和放卷室，拱形箱體內(nèi)部分為三個相互獨立的真空鍍膜室并于收放卷室貫通。此真空設(shè)計方案雖然解決了多陰極濺射的方式沉積多種材料的問題和雙面鍍膜的問題，但是還是沒有解決陰極灰塵掉落問題，依然不是最好的柔性鍍膜方式。申請?zhí)枮?00610022288.8的實用新型專利提出了一種磁控濺射卷繞鍍膜機，其特征是至少一個鍍膜真空室中有真空鍍膜腔體，位于真空鍍膜腔體內(nèi)的冷卻輥，以冷卻輥為中心周圍布置有至少3組陰極和高低真壓真空泵以及管道組成的真空抽氣系統(tǒng)。此實用新型的真空系統(tǒng)設(shè)計解決了多種不同氣氛膜層的鍍膜問題，然而，無論如何還是臥式鍍膜的設(shè)計，仍然沒有解決陰極灰塵掉落的問題。

實用新型內(nèi)容

為了解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供一種啞鈴式柔性材料磁控濺射鍍膜設(shè)備，實現(xiàn)了柔性鍍膜的在豎直方向上橫向布置陰極，可以對工件進行雙面鍍膜和多陰極鍍膜，并解決了臥式鍍膜方式存在的陰極灰塵掉落的問題。?

本實用新型采用的技術(shù)方案是：包括由收卷真空腔體、放卷真空腔體和鍍膜真空隧道；所述的鍍膜真空隧道豎直設(shè)置，鍍膜真空隧道的上端與收卷真空腔體連通，鍍膜真空隧道的下端與放卷真空腔體連通；所述的鍍膜真空隧道，至少一側(cè)面上設(shè)有橫向陰極布置區(qū)。

上述的啞鈴式柔性材料磁控濺射鍍膜設(shè)備中，所述的收卷真空腔體包括圓桶式真空腔體和腔門；真空腔體通過大閥與高真空抽氣泵組在法蘭口處連接。

上述的啞鈴式柔性材料磁控濺射鍍膜設(shè)備中，所述的放卷真空腔體包括第二圓桶式真空腔體、第二腔門和腔門滾輪，腔門滾輪設(shè)在第二腔門的下部。

上述的啞鈴式柔性材料磁控濺射鍍膜設(shè)備中，所述的收卷真空腔體和放卷真空腔體之間設(shè)有與之相連通的旁通管。

上述的啞鈴式柔性材料磁控濺射鍍膜設(shè)備中，所述的鍍膜真空隧道兩側(cè)面上均設(shè)有橫向陰極布置區(qū)。

上述的啞鈴式柔性材料磁控濺射鍍膜設(shè)備中，高真空抽氣泵組是帶前級抽氣系統(tǒng)的分子泵抽氣系統(tǒng)或擴散泵抽氣系統(tǒng)。

本實用新型的有益效果在于：本實用新型采用了豎直方向設(shè)置的鍍膜真空隧道，在鍍膜真空隧道的側(cè)面上橫向布置陰極，可以對工件進行雙面鍍膜和多陰極鍍膜，且解決了臥式鍍膜方式存在的陰極灰塵掉落的問題。

附圖說明

圖1是本實用新型的主視圖。

圖2是本實用新型的左視圖。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖對本實用新型作進一步的說明。

如圖1、2所示，本實用新型包括由收卷真空腔體1、放卷真空腔體7和鍍膜真空隧道4組成的啞鈴式的真空系統(tǒng)；所述的鍍膜真空隧道4為豎直設(shè)置，鍍膜真空隧道4的上端與收卷真空腔體1連通，鍍膜真空隧道4的下端與放卷真空腔體7連通；所述的鍍膜真空隧道4的兩側(cè)面上分別設(shè)有橫向陰極布置區(qū)5和第二橫向陰極布置區(qū)6。

所述的收卷真空腔體1，由圓桶式真空腔體1、腔門3和觀察窗2組成；收卷真空腔體1通過大閥11與高真空抽氣泵組13在法蘭口14處連接。所述的收卷真空腔體1內(nèi)設(shè)置有收卷裝置；所述的高真空抽氣泵組13是帶前級抽氣系統(tǒng)的分子泵抽氣系統(tǒng)或擴散泵抽氣系統(tǒng)。