[實用新型]一種啞鈴式柔性材料磁控濺射鍍膜設備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320041554.7
• 申請日: 2013-01-25
• 公開（公告）號: CN203021646U
• 公開（公告）日: 2013-06-26
• 發(fā)明（設計）人: 郭愛云;黃國興;孫桂紅;祝海生;梁紅;黃樂
• 申請（專利權）人: 湘潭宏大真空技術股份有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 湘潭市匯智專利事務所 43108
• 代理人: 顏昌偉

1.一種啞鈴式柔性材料磁控濺射鍍膜設備，其特征是：包括由收卷真空腔體、放卷真空腔體和鍍膜真空隧道；所述的鍍膜真空隧道豎直設置，鍍膜真空隧道的上端與收卷真空腔體連通，鍍膜真空隧道的下端與放卷真空腔體連通；所述的鍍膜真空隧道，至少一側面上設有橫向陰極布置區(qū)。

2.如權利要求1所述的啞鈴式柔性材料磁控濺射鍍膜設備，其特征是：所述的收卷真空腔體包括圓桶式真空腔體和腔門；真空腔體通過大閥與高真空抽氣泵組在法蘭口處連接。

3.如權利要求1所述的啞鈴式柔性材料磁控濺射鍍膜設備，其特征是：所述的放卷真空腔體包括第二圓桶式真空腔體、第二腔門和腔門滾輪組成，腔門滾輪安裝在第二腔門的下部。

4.如權利要求1所述的啞鈴式柔性材料磁控濺射鍍膜設備，其特征是：所述的收卷真空腔體和放卷真空腔體之間設有與之相連通的旁通管。

5.如權利要求1所述的啞鈴式柔性材料磁控濺射鍍膜設備，其特征是：所述的鍍膜真空隧道兩側面上均設有橫向陰極布置區(qū)。

6.如權利要求2所述的啞鈴式柔性材料磁控濺射鍍膜設備，其特征是：高真空抽氣泵組是帶前級抽氣系統(tǒng)的分子泵抽氣系統(tǒng)或擴散泵抽氣系統(tǒng)。

7.如權利要求2所述的啞鈴式柔性材料磁控濺射鍍膜設備，其特征是：所述的收卷真空腔體上還設有觀察窗。

8.如權利要求3所述的啞鈴式柔性材料磁控濺射鍍膜設備，其特征是：所述的放卷真空腔體上還設有第二觀察窗。