[實用新型]一種磁瓦罩殼組件內徑高度快速檢測裝置

有效

• 申請號: 201320039468.2
• 申請日: 2013-01-24
• 公開（公告）號: CN203083551U
• 公開（公告）日: 2013-07-24
• 發明（設計）人: 陳守亮;楊定偉;陳華軒;王衛林;張乾峰;劉慶威;顧石成
• 申請（專利權）人: 蘇州凱蒂亞半導體制造設備有限公司
• 主分類號: G01B21/14
• 分類號: G01B21/14
• 代理公司: 蘇州創元專利商標事務所有限公司 32103
• 代理人: 馬明渡

1.一種磁瓦罩殼組件內徑高度快速檢測裝置，其特征在于：包括底座（1）及設于該底座（1）上的內徑檢測部（2）和接觸式位移傳感器（3）；

所述內徑檢測部（2）下端固定連接在底座（1）上，上端設有內徑檢測頭（4），該內徑檢測頭（4）具有剛性的圓形外緣（5），該圓形外緣（5）的直徑等于磁瓦罩殼組件（10）中兩個磁瓦（6）內弧面所在圓柱形的直徑；

所述接觸式位移傳感器（3）的感測頭（7）當接觸到磁瓦罩殼組件（10）上的磁瓦（6）的下緣時能夠感測到其在豎直方向的位移，該感測頭（7）位于內徑檢測頭（4）的旁側，并對應于磁瓦罩殼組件（10）中的磁瓦（6）；所述感測頭（7）在豎直方向上位于內徑檢測頭（4）的圓形外緣（5）的下方，或者，所述感測頭（7）與內徑檢測頭（4）的圓形外緣（5）位于同一水平面；

所述磁瓦罩殼組件（10）上設有卡腳（18），在該磁瓦罩殼組件（10）相對于內徑檢測頭（4）在豎直方向運動時進行限位，該卡腳（18）與磁瓦（6）的下緣之間間隔距離。

2.根據權利要求1所述的磁瓦罩殼組件內徑高度快速檢測裝置，其特征在于：還包括一彈性件（8），所述內徑檢測部（2）的下端經所述彈性件（8）與底座（1）彈性連接，所述彈性件（8）作用于豎直方向。

3.根據權利要求1所述的磁瓦罩殼組件內徑高度快速檢測裝置，其特征在于：所述接觸式位移傳感器（3）數量為兩個，以內徑檢測頭（4）為基準對稱設于該內徑檢測頭（4）的兩側。

4.根據權利要求1所述的磁瓦罩殼組件內徑高度快速檢測裝置，其特征在于：還包括位置傳感器（9），用以檢測磁瓦罩殼組件（10）與內徑檢測頭（4）的相對位置。

5.根據權利要求1所述的磁瓦罩殼組件內徑高度快速檢測裝置，其特征在于：所述內徑檢測部（2）配套設有若干所述內徑檢測頭（4），這若干內徑檢測頭（4）均與內徑檢測部（2）可拆卸的連接。

6.根據權利要求1所述的磁瓦罩殼組件內徑高度快速檢測裝置，其特征在于：還包括一傳動裝置，該傳動裝置包括由上向下依次設置的接觸銷（11）、連接銷（12）和墊塊（13），其中接觸銷（11）和連接銷（12）均經一直線軸承（14）與底座（1）在豎直方向滑動連接，所述接觸銷（11）上端在豎直方向上位于內徑檢測頭（4）的圓形外緣（5）的下方，或者，所述接觸銷（11）上端與內徑檢測頭（4）的圓形外緣（5）位于同一水平面；接觸銷（11）下端與連接銷（12）上端接觸，連接銷（12）下端與墊塊（13）上端在豎直方向定位連接，墊塊（13）下端與接觸式位移傳感器（3）的感測頭（7）在豎直方向定位連接。

7.根據權利要求6所述的磁瓦罩殼組件內徑高度快速檢測裝置，其特征在于：所述墊塊（13）具有一方形本體（15），該本體（15）的上端和下端均開設一卡槽（16），所述連接銷（12）下端卡入本體（15）上端的卡槽（16）中，所述接觸式位移傳感器（3）的感測頭（7）卡入本體（15）下端的卡槽（16）中。