[實用新型]一種硅片清洗裝置

有效

• 申請號: 201320038588.0
• 申請日: 2013-01-24
• 公開（公告）號: CN203044409U
• 公開（公告）日: 2013-07-10
• 發明（設計）人: 張濤;毛偉;張存新;王平軍;劉華;彭之健;豐福生;郭雄
• 申請（專利權）人: 江西賽維LDK太陽能高科技有限公司
• 主分類號: B08B3/02
• 分類號: B08B3/02;B08B13/00
• 代理公司: 廣州三環專利代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫;熊永強

1.一種硅片清洗裝置,其包括托盤和裝載板，所述裝載板用于粘接在所述托盤和硅棒之間，其特征在于，所述托盤分布有托盤管道；所述裝載板包括第一表面，所述第一表面安裝有所述托盤，所述第一表面設有凹槽，所述凹槽沿著硅棒的中心軸方向延伸；所述凹槽與所述托盤管道相連通。

2.根據權利要求1所述的一種硅片清洗裝置，其特征在于：所述裝載板凹槽開在所述第一表面的中間部分；所述托盤管道包括有第一端和第二端，所述托盤管道第一端與所述裝載板凹槽相連通，所述托盤管道第二端貫通到所述托盤外表面用于安裝水管接口。

3.根據權利要求2所述的一種硅片清洗裝置，其特征在于：所述裝載板上的凹槽橫截面為V形、方形、半橢圓形以及半圓形。

4.根據權利要求3所述的一種硅片清洗裝置，其特征在于：所述凹槽兩端為封閉端，所述凹槽長度大于所述硅棒沿著中心軸方向的長度。

5.根據權利要求4所述的一種硅片清洗裝置，其特征在于：所述凹槽兩端封閉端由粘膠封堵而成。

6.根據權利要求5所述的一種硅片清洗裝置，其特征在于：所述托盤管道第一端中間位置與所述裝載板中間位置相互重合粘接在一起。

7.根據權利要求6所述的一種硅片清洗裝置，其特征在于：所述托盤管道第一端橫截面為方形槽、半橢圓形槽以及半圓形槽，所述托盤管道第二端橫截面為圓。

8.根據權利要求1到7之間任意一項所述的一種硅片清洗裝置，其特征在于：所述裝載板為玻璃。