[實用新型]功率半導體器件串并聯檢測設備

有效

• 申請號: 201320021282.4
• 申請日: 2013-01-16
• 公開（公告）號: CN203054181U
• 公開（公告）日: 2013-07-10
• 發明（設計）人: 肖彥;鄒宗林;吳擁軍;孫亞男;曾慶泉;可家軍
• 申請（專利權）人: 湖北臺基半導體股份有限公司
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26
• 代理公司: 襄陽嘉琛知識產權事務所 42217
• 代理人: 嚴崇姚

1.一種功率半導體器件串并聯檢測設備，包括測試主機（1）、測試夾具（2）和計算機控制單元（3）；其中，測試主機（1）包括阻斷測試單元、正向電壓測試單元、開通特性測試單元、恢復特性測試單元、門極特性測試單元；阻斷測試單元由阻斷測試主回路、阻斷檢測取樣單元組成；正向電壓測試單元由正向電壓測試主回路、正向電壓檢測取樣單元組成；開通特性測試單元由開通特性測試主回路、開通檢測取樣單元組成；恢復特性測試單元由恢復特性測試主回路、恢復檢測取樣單元組成；門極特性測試單元由門極特性測試主回路、門極檢測取樣單元組成；計算機控制單元包括計算機芯片及其外圍電路，并與測試主機電連接；其特征是：所述測試夾具（2）包括第一夾頭、旋轉臂（6）和第二夾頭；第一夾頭由加熱系統（11）、第一上夾頭（4）、第一下夾頭（9）、第一氣缸（7）、第一控制系統組成；旋轉臂（6）由傳動系統、機械臂組成；第二夾頭由水冷系統（12）、第二上夾頭（5）、第二下夾頭（10）、第二氣缸（8）、第二控制系統組成；計算機控制單元（3）還包括第一夾頭加壓控制電路、旋轉臂旋轉控制電路和第二夾頭加壓控制電路；第一夾頭加壓控制電路由加壓控制電路、壓力反饋電路、夾頭上升控制系統組成；旋轉臂旋轉控制電路由機械臂上升下降控制系統、機械臂橫向移動控制系統組成；第二夾頭加壓控制電路由加壓控制電路、壓力反饋電路、夾頭上升控制系統組成。

2.根據權利要求1所述的功率半導體器件串并聯檢測設備，其特征在于：所述測試夾具中還包括由第三上夾頭、第三下夾頭、第三氣缸、第三控制系統構成的第三夾頭。