[實(shí)用新型]一種用于半導(dǎo)體退火腔室的晶圓定位裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320021256.1
• 申請(qǐng)日: 2013-01-15
• 公開（公告）號(hào): CN203179854U
• 公開（公告）日: 2013-09-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李廣寧
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中芯國(guó)際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/68
• 分類號(hào): H01L21/68
• 代理公司: 上海光華專利事務(wù)所 31219
• 代理人: 余明偉

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體設(shè)備，特別是涉及一種用于半導(dǎo)體退火腔室的晶圓定位裝置。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體工業(yè)中，硅晶圓需要進(jìn)行退火，如在大規(guī)模的金屬沉積之后，需要通過退火工藝流程使得晶圓中原子顆粒長(zhǎng)大，從而使得晶格更加穩(wěn)定，同時(shí)可以釋放金屬中存在的應(yīng)力作用，有利于后續(xù)的可靠性測(cè)試。

現(xiàn)有的一種退火腔室，其包括一加熱室及一冷卻室，加熱室用于對(duì)晶圓升溫，冷卻室用于對(duì)晶圓降溫，每個(gè)制程室包括有載片臺(tái)101和腔室壁102，并通過一傳送裝置103進(jìn)行晶圓在加熱室和冷卻室之間的位置轉(zhuǎn)換，所述載片臺(tái)中具有用于收容所述傳送裝置103的收容槽，如圖1所示。在冷熱轉(zhuǎn)換過程中，通過傳送裝置將晶圓抬起，然后平動(dòng)至另一個(gè)制程室并降下，從而實(shí)現(xiàn)晶圓在加熱室和冷卻室之間的位置轉(zhuǎn)換。然而，在所述傳送裝置平動(dòng)的過程中，由于機(jī)械傳動(dòng)部分的不順暢移動(dòng)，晶圓可能發(fā)生偏移，從而使晶圓被放入載片臺(tái)時(shí)出現(xiàn)位置的偏移，這時(shí)，晶圓表面在后來送出制程室時(shí)，會(huì)容易被機(jī)械手刮傷，甚至容易造成裂片；而且，如果晶圓位置出現(xiàn)偏移，在傳送裝置抬起或移動(dòng)過程中會(huì)出現(xiàn)掉片現(xiàn)象，使整個(gè)機(jī)臺(tái)停機(jī)。同時(shí)，晶圓位置的偏移使其暴露于酸性環(huán)境中，導(dǎo)致晶圓被腐蝕而造成損失。

因此，提供一種有效避免晶圓位置偏移，降低晶圓被刮傷及碎片幾率的，并適用于現(xiàn)有的退火腔室的晶圓定位裝置實(shí)屬必要。

實(shí)用新型內(nèi)容

鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型的目的在于提供一種用于半導(dǎo)體退火腔室的晶圓定位裝置，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中由于晶圓位置的偏移而造成晶圓容易被刮傷、碎片或被酸性腐蝕等問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實(shí)用新型提供一種用于半導(dǎo)體退火腔室的晶圓定位裝置，所述半導(dǎo)體退火腔室包括載片臺(tái)、環(huán)繞于該載片臺(tái)的腔室壁以及傳送裝置，所述載片臺(tái)具有傳送裝置的收容槽，所述腔室壁具有多個(gè)定位槽，所述晶圓定位裝置至少包括：

氣缸，固定于所述定位槽內(nèi)，并連接有充氣裝置；

活塞，連接于所述氣缸內(nèi)；

活塞桿，連接于所述活塞，并延伸至所述腔室壁外部；

兩定位板，呈第一夾角固定于所述活塞桿的端部；

兩支撐板，呈第二夾角套設(shè)于所述活塞桿上，且與所述定位板具有預(yù)設(shè)間距，所述支撐板中具有多個(gè)朝向所述定位板的卡槽；

多個(gè)定位銷，各該定位銷連接有彈簧，且各該定位銷卡接于各該卡槽內(nèi)并將各該彈簧壓縮于各該卡槽內(nèi)。

作為本實(shí)用新型的于半導(dǎo)體退火腔室的晶圓定位裝置的一種優(yōu)選方案，每個(gè)半導(dǎo)體退火腔室具有3個(gè)晶圓定位裝置，各該晶圓定位裝置呈120度夾角固定于所述腔室壁上。

作為本實(shí)用新型的于半導(dǎo)體退火腔室的晶圓定位裝置的一種優(yōu)選方案，每個(gè)半導(dǎo)體退火腔室具有4個(gè)晶圓定位裝置，各該晶圓定位裝置呈90度夾角固定于所述腔室壁上。

作為本實(shí)用新型的于半導(dǎo)體退火腔室的晶圓定位裝置的一種優(yōu)選方案，所述定位板為耐火彈性板。

作為本實(shí)用新型的于半導(dǎo)體退火腔室的晶圓定位裝置的一種優(yōu)選方案，所述支撐板為耐火剛性板。

作為本實(shí)用新型的于半導(dǎo)體退火腔室的晶圓定位裝置的一種優(yōu)選方案，所述卡槽內(nèi)還具有按壓開關(guān)，所述定位銷被按壓后通過所述彈簧將其彈出。

作為本實(shí)用新型的于半導(dǎo)體退火腔室的晶圓定位裝置的一種優(yōu)選方案，所述支撐板與所述定位板平行。

作為本實(shí)用新型的于半導(dǎo)體退火腔室的晶圓定位裝置的一種優(yōu)選方案，所述第一夾角與所述第二夾角均為90度～180度。

作為本實(shí)用新型的于半導(dǎo)體退火腔室的晶圓定位裝置的一種優(yōu)選方案，每個(gè)支撐板上均勻分布有2～12個(gè)定位銷。

如上所述，本實(shí)用新型提供一種用于半導(dǎo)體退火腔室的晶圓定位裝置，所述半導(dǎo)體退火腔室包括載片臺(tái)、環(huán)繞于該載片臺(tái)的腔室壁以及傳送裝置，所述載片臺(tái)具有傳送裝置的收容槽，所述腔室壁具有多個(gè)定位槽，所述晶圓定位裝置至少包括：氣缸，固定于所述定位槽內(nèi)，并連接有充氣裝置；活塞，連接于所述氣缸內(nèi)；活塞桿，連接于所述活塞，并延伸至所述腔室壁外部；兩定位板，呈第一夾角固定于所述活塞桿的端部；兩支撐板，呈第二夾角套設(shè)于所述活塞桿上，且與所述定位板具有預(yù)設(shè)間距，所述支撐板中具有多個(gè)朝向所述定位板的卡槽；多個(gè)定位銷，各該定位銷連接有彈簧，且各該定位銷卡接于各該卡槽內(nèi)并將各該彈簧壓縮于各該卡槽內(nèi)。本實(shí)用新型在退火腔室中加入了晶圓定位裝置，可以有效避免晶圓位置的偏移，在晶圓位置偏移時(shí)可以有效對(duì)其進(jìn)行調(diào)整，降低晶圓被刮傷及碎片的幾率，提高生產(chǎn)的良率。

附圖說明

圖1顯示為現(xiàn)有技術(shù)中的半導(dǎo)體退火腔室的結(jié)構(gòu)示意圖。