[實用新型]一種影像傳感器結構有效

申請號：	201320016896.3	申請日：	2013-01-14
公開（公告）號：	CN203165886U	公開（公告）日：	2013-08-28
發明（設計）人：	李平	申請（專利權）人：	武漢新芯集成電路制造有限公司
主分類號：	H01L23/538	分類號：	H01L23/538
代理公司：	北京輕創知識產權代理有限公司 11212	代理人：	楊立
地址：	湖北省武漢市湖北省***	國省代碼：	湖北;42
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種影像傳感器結構
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【權利要求書】：

1.一種影像傳感器結構,其特征是:包括邏輯晶圓和器件晶圓,所述邏輯晶圓上設有有邏輯晶圓二氧化硅層,所述邏輯晶圓二氧化硅層上覆蓋有邏輯晶圓頂層頂層金屬,所述邏輯晶圓頂層金屬上設有鍵合氧化物層,所述鍵和氧化層上設有器件晶圓頂層金屬，所述器件晶圓頂層金屬上設有器件晶圓二氧化硅層,所述器件晶圓器件晶圓二氧化硅層上為器件晶圓,所述器件晶圓二氧化硅層上設有溝槽，所述溝槽底部為器件晶圓頂層金屬，所述器件晶圓頂層金屬上設有鍵合層深通孔，所述鍵合層深通孔底部為邏輯晶圓金屬層，所述鍵合層深通孔與溝槽之中布滿銅。?

2.根據權利要求1所述的一種影像傳感器結構，其特征是：所述鍵合層通孔和溝槽與其中布滿的銅之間設有一層阻擋層。?

3.根據權利要求1所述的一種影像傳感器結構，其特征是：所述邏輯晶圓頂層金屬與鍵和氧化層之間設有阻擋層。?

4.根據權利要求1所述的一種影像傳感器結構，其特征是：所述器件晶圓頂層金屬與鍵和氧化層之間設有阻擋層?

5.根據權利要求2至4任一所述的一種影像傳感器結構，其特征是：所述阻擋層為氮化鈦阻擋層。?

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