[實(shí)用新型]一種全自動晶粒檢測分選一體設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320010345.6
• 申請日: 2013-01-09
• 公開（公告）號: CN203124283U
• 公開（公告）日: 2013-08-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李斌;吳濤;朱國文;龔時華;朱文凱;賀松平;吳磊;宋憲振;湯瑞;尹旭生;庫衛(wèi)東
• 申請（專利權(quán)）人: 廣東志成華科光電設(shè)備有限公司
• 主分類號: B07C5/00
• 分類號: B07C5/00
• 代理公司: 東莞市華南專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 44215
• 代理人: 雷利平

1.一種全自動晶粒檢測分選一體設(shè)備，包括有機(jī)體平臺，其特征在于，所述機(jī)體平臺上設(shè)置有：

三個工作臺，分別為晶圓工作臺、分選工作臺和檢測工作臺，晶圓工作臺和分選工作臺用于承載盤片進(jìn)行晶粒分選，檢測工作臺用于承載盤片進(jìn)行晶粒檢測；

擺臂機(jī)構(gòu)，通過其對晶圓工作臺以及分選工作臺上的盤片進(jìn)行分選；

芯片分選料庫，其用于存放裝載有盤片的卡匣；

運(yùn)輸傳送系統(tǒng)，其可沿X軸、Y軸和Z軸方向運(yùn)動，所述運(yùn)輸傳送系統(tǒng)具有兩個緩沖區(qū)位置，通過所述運(yùn)輸傳送系統(tǒng)從所述芯片分選料庫中對應(yīng)的位置取出待分選或者待檢測的盤片放置第一緩沖區(qū)位置等候，將位于第二緩沖區(qū)位置的經(jīng)過分選或者檢測的需要放回至芯片分選料庫的盤片放回至芯片分選料庫中指定位置；

三個推送裝置，分別為晶圓工作臺推送裝置、分選工作臺推送裝置和檢測工作臺推送裝置，其用于將三個工作臺上的盤片推送至運(yùn)輸傳送系統(tǒng)上或者將運(yùn)輸傳送系統(tǒng)上的盤片取放至三個工作臺上；

所述芯片分選料庫設(shè)置于所述機(jī)體平臺的一側(cè)，所述晶圓工作臺、所述分選工作臺、所述檢測工作臺以及所述三個推送裝置組成的分選工作區(qū)設(shè)置于所述機(jī)體平臺上位于與所述芯片分選料庫相對的另一側(cè)，所述運(yùn)輸傳送系統(tǒng)橫置于所述芯片分選料庫和所述分選工作區(qū)之間，所述晶圓工作臺和所述分選工作臺分別設(shè)置于所述擺臂機(jī)構(gòu)的兩側(cè)，所述檢測工作臺設(shè)置于所述晶圓工作臺和所述分選工作臺的另一側(cè)；相對應(yīng)地，所述晶圓工作臺與所述晶圓工作臺推送裝置配合以實(shí)現(xiàn)盤片從所述運(yùn)輸傳送系統(tǒng)的取放；所述分選工作臺與所述分選工作臺推送裝置配合以實(shí)現(xiàn)盤片從所述運(yùn)輸傳送系統(tǒng)的取放；所述檢測工作臺與所述檢測工作臺推送裝置配合以實(shí)現(xiàn)盤片從所述運(yùn)輸傳送系統(tǒng)的取放。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種全自動晶粒檢測分選一體設(shè)備，其特征在于：所述運(yùn)輸傳送系統(tǒng)包括：

X軸導(dǎo)軌、X軸基座，以及驅(qū)動所述X軸基座沿所述X軸導(dǎo)軌往復(fù)運(yùn)動的X軸驅(qū)動裝置；

Y軸導(dǎo)軌、Y軸基座，以及驅(qū)動所述Y軸基座沿所述Y軸導(dǎo)軌往復(fù)運(yùn)動的Y軸驅(qū)動裝置；

Z軸導(dǎo)軌、Z軸基座，以及驅(qū)動所述Z軸基座沿所述Z軸導(dǎo)軌往復(fù)運(yùn)動的Z軸驅(qū)動裝置，所述Z軸導(dǎo)軌固定設(shè)置于所述X軸基座的豎直板上，所述Y軸導(dǎo)軌固定設(shè)置于所述Z軸基座；

用于夾持盤片的夾持機(jī)構(gòu)和控制所述夾持機(jī)構(gòu)上下移動的夾持驅(qū)動裝置，所述夾持機(jī)構(gòu)與所述Y軸基座連接；?

所述Z軸基座設(shè)置有第一卡槽和第二卡槽。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種全自動晶粒檢測分選一體設(shè)備，其特征在于：所述夾持驅(qū)動裝置包括第一夾持氣缸式驅(qū)動裝置和第二夾持氣缸式驅(qū)動裝置，所述第一夾持氣缸式驅(qū)動裝置和所述第二夾持氣缸式驅(qū)動裝置均設(shè)置于所述Y軸基座。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種全自動晶粒檢測分選一體設(shè)備，其特征在于：所述X軸驅(qū)動裝置包括X軸電機(jī)、X軸絲桿和X軸螺母，所述X軸螺母設(shè)置在所述X軸基座的下方，所述X軸絲桿與所述X軸螺母螺紋連接，所述X軸電機(jī)驅(qū)動所述X軸基座沿所述X軸絲桿移動；所述Y軸驅(qū)動裝置包括Y軸電機(jī)、齒輪和齒條，所述Y軸電機(jī)固定設(shè)置于所述Y軸基座，所述齒輪同軸設(shè)置于所述Y軸電機(jī)的輸出軸，所述齒條設(shè)置于所述Y軸基座的內(nèi)側(cè)面，所述齒輪與所述齒條嚙合；所述Z軸驅(qū)動裝置包括Z軸電機(jī)、Z軸絲桿和Z軸螺母，所述Z軸基座與所述Z軸絲桿螺紋連接，所述Z軸絲桿與所述Z軸螺母螺紋連接，所述Z軸電機(jī)驅(qū)動所述Z軸基座沿所述Z軸絲桿移動。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種全自動晶粒檢測分選一體設(shè)備，其特征在于：所述推送裝置包括：

固定支架；?

移送驅(qū)動裝置，其用于將被移送的盤片由工作臺移送到運(yùn)輸傳送系統(tǒng)或者由運(yùn)輸傳送系統(tǒng)返回移送到工作臺，所述移送驅(qū)動裝置包括設(shè)置于所述固定支架的安裝座、設(shè)置于所述安裝座的移送絲杠、驅(qū)動所述移送絲杠轉(zhuǎn)動的電機(jī)以及與所述移送絲杠螺接的滑動座；

夾爪機(jī)構(gòu)，其用于夾緊盤片或松開盤片，所述由平行設(shè)置的上夾片和下夾片組成的夾爪機(jī)構(gòu)包括夾片組件和用于驅(qū)動所述夾片組件夾緊或松開的夾緊驅(qū)動裝置；

升降驅(qū)動裝置，其通過連接件固定于所述滑動座，用于使所述夾片組件上升處于避讓位置和使所述夾片組件下降處于張夾位置。