[實用新型]MS/MS型電感耦合等離子體質譜儀

有效

• 申請號: 201320004928.8
• 申請日: 2013-01-06
• 公開（公告）號: CN203339108U
• 公開（公告）日: 2013-12-11
• 發明（設計）人: 山田憲幸;桑原健雄;北本淳
• 申請（專利權）人: 安捷倫科技有限公司
• 主分類號: H01J49/42
• 分類號: H01J49/42;H01J49/24
• 代理公司: 北京東方億思知識產權代理有限責任公司 11258
• 代理人: 柳春雷

1.一種MS/MS型電感耦合等離子體質譜儀，所述質譜儀包括：?

第一真空室，所述第一真空室將包含被離子化的樣品在內的等離子體引入到真空中；?

第二真空室，所述第二真空室與所述第一真空室連接，并且包括從所述第一真空室所出射的離子中提取并引導離子束的單元；?

第三真空室，所述第三真空室與所述第二真空室連接，并且具有第一離子光學分離單元；?

第四真空室，所述第四真空室與所述第三真空室連接，并具有反應氣體被導入的池；以及?

第五真空室，所述第五真空室與所述第四真空室連接，并具有第二離子光學分離單元以及檢測器，?

其中，所述第二真空室和所述第三真空室獨立地被排氣。?

2.如權利要求1所述的MS/MS型電感耦合等離子體質譜儀，其特征在于，?

所述離子光學分離單元根據質量電荷比來分離離子。?

3.如權利要求1或2所述的MS/MS型電感耦合等離子體質譜儀，其中，?

所述第二真空室被維持在0.5Pa的壓力以下，所述第三真空室被維持在1×10^-4Pa～2×10^-2Pa的壓力。?

4.如權利要求1所述的MS/MS型電感耦合等離子體質譜儀，其中，?

所述第四真空室被維持在1×10^-5Pa～0.2Pa的壓力。?

5.如權利要求1所述的MS/MS型電感耦合等離子體質譜儀，其中，?

所述第一真空室通過旋轉泵被排氣，從所述第二真空室至所述第五真空室通過渦輪分子泵或油擴散泵被排氣。?

6.如權利要求1所述的MS/MS型電感耦合等離子體質譜儀，其中，?

所述第三真空室和所述第五真空室經由流路相互連接。?

7.如權利要求1所述的MS/MS型電感耦合等離子體質譜儀，其中，?

所述第二真空室和所述第三真空室通過一個分流式渦輪分子泵被排氣。?

8.如權利要求1所述的MS/MS型電感耦合等離子體質譜儀，其中，?

所述第三真空室和所述第四真空室通過一個分流式渦輪分子泵被排氣。?

9.如權利要求1所述的MS/MS型電感耦合等離子體質譜儀，其中，?

所述第四真空室和所述第五真空室通過一個分流式渦輪分子泵被排氣。?

10.如權利要求1所述的MS/MS型電感耦合等離子體質譜儀，其中，?

所述第二真空室和所述第三真空室通過一個分流式渦輪分子泵被排氣，所述第四真空室和所述第五真空室通過一個分流式渦輪分子泵被排氣。?

11.如權利要求5所述的MS/MS型電感耦合等離子體質譜儀，其中，?

所述旋轉泵兼用于對從所述第二真空室至所述第五真空室進行排氣的泵的前級泵。?

12.如權利要求1所述的MS/MS型電感耦合等離子體質譜儀，其中，?

從所述第二真空室和所述第三真空室之間的隔壁至所述第一離子光學分離單元為止的距離為1mm至7mm。?