[發(fā)明專利]一種工件在蝕刻區(qū)做往復運動的蝕刻方法及裝置

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• 申請?zhí)枺?/td>: 201310755076.0
• 申請日: 2013-12-30
• 公開（公告）號: CN103731996A
• 公開（公告）日: 2014-04-16
• 發(fā)明（設計）人: 胡宏宇;鄭國平
• 申請（專利權）人: 天津市德中技術發(fā)展有限公司
• 主分類號: H05K3/06
• 分類號: H05K3/06
• 代理公司: 天津盛理知識產(chǎn)權代理有限公司 12209
• 代理人: 董一寧

1.一種工件在蝕刻區(qū)做往復運動的蝕刻方法，其特征在于：在向工件噴射蝕刻劑的同時，用可實現(xiàn)往復運動的工件傳送系統(tǒng)帶動工件在噴射蝕刻區(qū)內(nèi)往返運動，通過往返遍數(shù)及速度控制蝕刻加工的進程，使裝置適合蝕刻各種材料厚度，直到蝕刻達到預定的程度為止，步驟為：

⑴將工件傳送到蝕刻區(qū)起點端，并繼續(xù)向前傳送，工件在蝕刻區(qū)移動的同時進行蝕刻；

⑵當工件移動到蝕刻區(qū)終點端后，將工件反向傳送向蝕刻區(qū)起點端，工件在蝕刻區(qū)移動的同時進行蝕刻；

⑶自起點端和終點端分別再次向前和向后往返傳送工件，工件在蝕刻區(qū)移動的同時進行蝕刻；

⑷待工件被蝕刻完畢后，將工件從蝕刻區(qū)傳送到所述蝕刻裝置水洗或下料區(qū)。

2.根據(jù)權利要求1所述的工件在蝕刻區(qū)做往復運動的蝕刻方法，其特征在于：步驟⑴、⑵和⑶所述的蝕刻是通過噴頭沿垂直于工件的蝕刻面方向向工件的蝕刻面噴射蝕刻劑實現(xiàn)的。

3.根據(jù)權利要求2所述的工件在蝕刻區(qū)做往復運動的蝕刻方法，其特征在于：步驟⑶所述往返次數(shù)依據(jù)視蝕刻進程確定。

4.根據(jù)權利要求3所述的工件在蝕刻區(qū)做往復運動的蝕刻方法，其特征在于：所述蝕刻裝置為蝕刻機，包括液體噴射系統(tǒng)和工件傳送系統(tǒng)，所述噴射系統(tǒng)和工件傳送系統(tǒng)均安裝在蝕刻機內(nèi)，所述噴射系統(tǒng)包括兩個噴射管組，每個噴射管組分別包括多條相互平行的噴射管，每條噴射管上均間隔均布連通安裝有多個噴頭，兩個噴射管組上的噴頭相向設置，所述工件傳送系統(tǒng)位于兩個噴射管組之間，所述工件傳送系統(tǒng)包括驅動部件、傳動部件以及工件裝載部件，工件裝載部件懸掛在傳動部件上，驅動部件帶動或牽引工件裝載部件在傳動部件上實現(xiàn)往復運動，工件裝載部件位于兩個噴射管組之間且與每條噴射管同軸向平行設置。

5.根據(jù)權利要求4所述的工件在蝕刻區(qū)做往復運動的蝕刻方法，其特征在于：所述每條噴射管均為橫管或均為豎管。

6.根據(jù)權利要求5所述的工件在蝕刻區(qū)做往復運動的蝕刻方法，其特征在于：在驅動部件帶動或牽引工件裝載部件在傳動部件上實現(xiàn)往復運動時，兩個噴射管組上的多個噴頭同時對所述工件兩側的蝕刻面進行噴射。

7.根據(jù)權利要求6所述的工件在蝕刻區(qū)做往復運動的蝕刻方法，其特征在于：所述蝕刻機內(nèi)部蝕刻區(qū)的長度≤兩倍工件長度與單個噴射管組長度之和。