[發(fā)明專利]MEMS麥克風(fēng)在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201310754247.8 | 申請日： | 2013-12-31 |
| 公開（公告）號： | CN103702269A | 公開（公告）日： | 2014-04-02 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 孟珍奎 | 申請（專利權(quán)）人： | 瑞聲聲學(xué)科技(深圳)有限公司 |
| 主分類號： | H04R19/04 | 分類號： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 518057 廣東省深圳市南山區(qū)高*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | mems 麥克風(fēng) | ||
1.一種MEMS麥克風(fēng)，包括具有背腔的基底以及設(shè)于所述基底上的電容系統(tǒng)，所述電容系統(tǒng)包括振膜以及與所述振膜相對且分別設(shè)置在所述振膜兩側(cè)的第一背板和第二背板，所述第一背板與所述振膜以及第二背板與所述振膜分隔一定距離并分別形成第一絕緣間隙和第二絕緣間隙，其特征在于：
該MEMS麥克風(fēng)還包括分別位于所述第一絕緣間隙和第二絕緣間隙內(nèi)的第一絕緣支撐件和第二絕緣支撐件，所述第一絕緣支撐件與所述第一背板或振膜相連，所述第二絕緣支撐件與所述第二背板或振膜相連；
所述第一絕緣支撐件在沿所述第一背板指向所述第二背板方向上的長度為所述第一絕緣間隙在同方向上的寬度的1/3至2/3；所述第二絕緣支撐件在沿所述第一背板指向所述第二背板方向上的長度為所述第二絕緣間隙在同方向上的寬度的1/3至2/3。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于，所述第一絕緣支撐件與所述第一背板相連，所述第二絕緣支撐件與所述第二背板相連。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于，所述第一絕緣支撐件與所述第一背板相連，所述第二絕緣支撐件與所述振膜相連。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于，所述第一絕緣支撐件與所述振膜相連，所述第二絕緣支撐件與所述第二背板相連。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于，所述第一絕緣支撐件與所述振膜相連，所述第二絕緣支撐件與所述振膜相連。
6.一種MEMS麥克風(fēng)，包括具有背腔的基底以及設(shè)于所述基底上的電容系統(tǒng)，所述電容系統(tǒng)包括背板以及與所述背板相對且分別設(shè)置在所述背板兩側(cè)的第一振膜和第二振膜，所述第一振膜與所述背板以及第二振膜與所述背板分隔一定距離并分別形成第一絕緣間隙和第二絕緣間隙，其特征在于：
該MEMS麥克風(fēng)還包括分別位于所述第一絕緣間隙和第二絕緣間隙內(nèi)的第一絕緣支撐件和第二絕緣支撐件，所述第一絕緣支撐件與所述第一振膜或背板相連，所述第二絕緣支撐件與所述第二振膜或背板相連；
所述第一絕緣支撐件在沿所述第一振膜指向所述第二振膜方向上的長度為所述第一絕緣間隙在同方向上的寬度的1/3至2/3；所述第二絕緣支撐件在沿所述第一振膜指向所述第二振膜方向上的長度為所述第二絕緣間隙在同方向上的寬度的1/3至2/3。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于，所述第一絕緣支撐件與所述第一振膜相連，所述第二絕緣支撐件與所述第二振膜相連。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于，所述第一絕緣支撐件與所述第一振膜相連，所述第二絕緣支撐件與所述背板相連。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的MEM麥克風(fēng)，其特征在于，所述第一絕緣支撐件與所述背板相連，所述第二絕緣支撐件與所述第二振膜相連。
10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于，所述第一絕緣支撐件與所述背板相連，所述第二絕緣間隙與所述背板相連。
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