[發明專利]一種硅片收集設備的監測裝置

無效

• 申請號: 201310754109.X
• 申請日: 2013-12-31
• 公開（公告）號: CN103707428A
• 公開（公告）日: 2014-04-09
• 發明（設計）人: 聶金根
• 申請（專利權）人: 鎮江市港南電子有限公司
• 主分類號: B28D7/00
• 分類號: B28D7/00;B28D5/00
• 代理公司: 上海海頌知識產權代理事務所(普通合伙) 31258
• 代理人: 季萍

技術領域

本發明涉及一種監測裝置，具體涉及一種硅片收集設備的監測裝置。

背景技術

硅片加工過程中，為了保證硅片的設計要求，要求硅片進行切割。切割后的硅片通過收集裝置進行收集。在收集過程中，硅片下落時可能會掉落到外部，從而對硅片表面造成損傷，從而影響硅片的加工質量。目前采用人工的方式來對收集槽進行替換這樣可能導致收集的硅片過多，或缺少，很難控制整齊的數量，不利于硅片的收集。

發明內容

本發明所要解決的技術問題是針對以上弊端提供一種硅片收集設備的監測裝置，本裝置結構簡單，操作簡單，功能全面的一種硅片收集設備的監測裝置。

為解決上述技術問題，本發明的技術方案是：

一種硅片收集設備的監測裝置包括信號采集模塊，信號處理模塊，存儲模塊，顯示模塊，報警模塊，復位模塊；其中所述信號采集模塊包括溫度傳感器，濕度傳感器，硬度傳感器，計數傳感器；所述信號處理模塊為CPU;所述存儲模塊為rom存儲器。所述顯示模塊為LCD顯示屏；所述報警模塊為信號報警器；所述復位模塊包括復位按鍵。

所述信號采集模塊與信號處理模塊、存儲模塊、顯示模塊依次相連，所述信號處理模塊與報警模塊連接，所述報警模塊與復位模塊相連。

工作時，信號采集模塊通過信號采集模塊中的各個傳感器采集信號，然后將信號傳遞給信號處理模塊中的CPU經行處理，處理完成后將數據傳輸給存儲模塊中的rom存儲器，再將存儲器中數據通過顯示模塊中的LCD顯示器顯示出結果。當信號采集模塊中的計數傳感器采集到硅片數量快達到指定數量時，通過CPU處理完后直接傳輸到報警模塊中的信號報警器，從而發出報警聲，人工處理完后按復位鍵恢復正常運作。

本發明的有益效果：

所述信號采集模塊用于采集硅片收集設備的監測裝置的狀態及參數；所述信號處理模塊用于處理采集模塊中的數據；所述存儲模塊用來存儲采集模塊及信號處理模塊中的數據；所述計數模塊用于計算收集的硅片數量；所述顯示模塊用于顯示硅片數量及存儲模塊中的數據；所述報警模塊用于當數量快達到收集槽的最大容量時，進行報警；所述復位模塊用于消除報警，并讓監測裝置繼續工作。本發明可以使操作人員清楚的看到收集槽中硅片的具體數量，大大減少了人工帶來的問題，并且本操作簡單，增強了工作效率。

附圖說明

圖1為本發明的結構示意圖

具體實施方式

如圖所示一種硅片收集設備的監測裝置包括信號采集模塊1，信號處理模塊2，存儲模塊3，顯示模塊4，報警模塊5，復位模塊6；所述信號采集模1塊包括溫度傳感器11，濕度傳感器12，硬度傳感器13，計數傳感器14；所述信號處理模塊2為CPU21;所述存儲模塊3為rom存儲器31。所述顯示模塊4為LCD顯示屏41；所述報警模塊5為信號報警器51；所述復位模塊6包括復位按鍵61。

所述信號采集模塊1與信號處理模塊2、存儲模塊3、顯示模塊4依次相連，所述信號處理模塊2與報警模塊5連接，所述報警模塊5與復位模塊6相連。

工作時，信號采集模塊1通過信號采集模塊1中的各個傳感器采集信號，然后將信號傳遞給信號處理模塊中的CPU21經行處理，處理完成后將數據傳輸給存儲模塊中的rom存儲器，31再將存儲器中數據通過顯示模塊中的LCD顯示器41顯示出結果。當信號采集模塊中的計數傳感器14采集到硅片數量快達到指定數量時，通過CPU21處理完后直接傳輸到報警模塊5中的信號報警器51，從而發出報警聲，人工處理完后按復位鍵61恢復正常運作。

本發明可以使操作人員清楚的看到收集槽中硅片的具體數量，大大減少了人工帶來的問題，并且本操作簡單，增強了工作效率。

這里本發明的描述和應用是說明性的，并非想將本發明的范圍限制在上述實施例中，因此，本發明不受本實施例的限制，任何采用等效替換取得的技術方案均在本發明保護的范圍內。