[發明專利]一種硅片收集設備的監測裝置

無效

• 申請號: 201310754109.X
• 申請日: 2013-12-31
• 公開（公告）號: CN103707428A
• 公開（公告）日: 2014-04-09
• 發明（設計）人: 聶金根
• 申請（專利權）人: 鎮江市港南電子有限公司
• 主分類號: B28D7/00
• 分類號: B28D7/00;B28D5/00
• 代理公司: 上海海頌知識產權代理事務所(普通合伙) 31258
• 代理人: 季萍

1.一種硅片收集設備的監測裝置包括信號采集模塊，信號處理模塊，存儲模塊，顯示模塊，報警模塊，復位模塊；其中所述信號采集模塊包括溫度傳感器，濕度傳感器，硬度傳感器，計數傳感器；所述信號處理模塊為CPU;所述存儲模塊為rom存儲器；所述顯示模塊為LCD顯示屏；所述報警模塊為信號報警器；所述復位模塊包括復位按鍵。

2.如權利要求1所述的一種硅片收集設備的監測裝置其特征在于所述信號采集模塊與信號處理模塊、存儲模塊、顯示模塊依次相連，所述信號處理模塊與報警模塊連接，所述報警模塊與復位模塊相連。

3.如權利要求1所述的一種硅片收集設備的監測裝置其特征在于工作時，信號采集模塊通過信號采集模塊中的各個傳感器采集信號，然后將信號傳遞給信號處理模塊中的CPU經行處理，處理完成后將數據傳輸給存儲模塊中的rom存儲器，再將存儲器中數據通過顯示模塊中的LCD顯示器顯示出結果；當信號采集模塊中的計數傳感器采集到硅片數量快達到指定數量時，通過CPU處理完后直接傳輸到報警模塊中的信號報警器，從而發出報警聲，人工處理完后按復位鍵恢復正常運作。