[發(fā)明專利]基板加熱裝置和方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310752561.2
• 申請(qǐng)日: 2013-12-31
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103743254A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-04-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 覃事建
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): F27D19/00
• 分類號(hào): F27D19/00
• 代理公司: 深圳市世紀(jì)恒程知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 44287
• 代理人: 胡海國(guó)

1.一種基板加熱裝置，包括加熱爐、置放在該加熱爐中的平臺(tái)和置放在平臺(tái)上待加熱的基板，以及設(shè)置在所述基板上方用于加熱基板的多個(gè)間隔設(shè)置的加熱器，其特征在于，還包括分別固定在多個(gè)所述加熱器上方反射片，以及固定在所述加熱爐的爐壁的內(nèi)表面上用于控制所述反射片轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)動(dòng)控制器。

2.如權(quán)利要求1所述的基板加熱裝置，其特征在于，還包括設(shè)置在所述加熱爐的爐壁外側(cè)的多個(gè)測(cè)溫控制器，該測(cè)溫控制器用于測(cè)量多個(gè)所述加熱器在基板上的受熱點(diǎn)的加熱溫度，所述測(cè)溫控制器通過(guò)測(cè)溫線與所述基板連接。

3.如權(quán)利要求2所述的基板加熱裝置，其特征在于，所述轉(zhuǎn)動(dòng)控制器通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)控制線與對(duì)應(yīng)的測(cè)溫控制器連接，根據(jù)所述測(cè)溫控制器發(fā)送的控制信號(hào)控制對(duì)應(yīng)的反射片的轉(zhuǎn)動(dòng)角度。

4.如權(quán)利要求1所述的基板加熱裝置，其特征在于，所述平臺(tái)上設(shè)置有用于將所述基板定位在所述加熱器的加熱區(qū)域范圍內(nèi)的支撐腳。

5.一種基板加熱方法，其特征在于，包括以下步驟：

加熱器對(duì)置放在平臺(tái)上的基板進(jìn)行加熱；

測(cè)溫控制器測(cè)量對(duì)應(yīng)的加熱器在基板上的受熱點(diǎn)的加熱溫度，根據(jù)該加熱溫度得到基板的溫度均勻性，根據(jù)所述溫度均勻性生成控制信號(hào)，并反饋至轉(zhuǎn)動(dòng)控制器；

轉(zhuǎn)動(dòng)控制器根據(jù)所述控制信號(hào)控制反射片轉(zhuǎn)動(dòng)相應(yīng)的角度，以調(diào)整所述基板的溫度均勻性。

6.如權(quán)利要求5所述的基板加熱方法，其特征在于，所述測(cè)溫控制器測(cè)量對(duì)應(yīng)的加熱器在基板上的受熱點(diǎn)的加熱溫度，根據(jù)該加熱溫度得到基板的溫度均勻性，根據(jù)所述溫度均勻性生成控制信號(hào)，并反饋至轉(zhuǎn)動(dòng)控制器的步驟包括：

測(cè)溫控制器通過(guò)測(cè)溫線測(cè)量對(duì)應(yīng)的加熱器在基板上的受熱點(diǎn)的加熱溫度，將該加熱溫度轉(zhuǎn)換成相應(yīng)的電信號(hào)；

將轉(zhuǎn)換后的所述加熱溫度輸出，并接收根據(jù)所述加熱溫度計(jì)算出的基板的溫度均勻性，根據(jù)該溫度均勻性生成控制所述反射片轉(zhuǎn)動(dòng)的控制信號(hào)；

通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)控制線將生成的所述控制信號(hào)反饋至所述轉(zhuǎn)動(dòng)控制器。

7.如權(quán)利要求5所述的基板加熱方法，其特征在于，在所述轉(zhuǎn)動(dòng)控制器根據(jù)所述控制信號(hào)控制反射片轉(zhuǎn)動(dòng)相應(yīng)的角度的步驟之后，還包括步驟：

反射片根據(jù)所述轉(zhuǎn)動(dòng)控制器的控制，轉(zhuǎn)動(dòng)相應(yīng)的角度，將所述加熱器的上方發(fā)出的熱量反射至所述基板上相應(yīng)的位置，調(diào)整所述基板的溫度均勻性。

8.如權(quán)利要求5所述的基板加熱方法，其特征在于，在所述加熱器對(duì)置放在平臺(tái)上的基板進(jìn)行加熱的步驟之前，還包括步驟：

將基板置放在平臺(tái)上，通過(guò)所述平臺(tái)上設(shè)置的支撐腳將所述基板定位在所述加熱器的加熱區(qū)域范圍內(nèi)。